[发明专利]蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 201910705938.6 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN111218686A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 殷熙天;金益俊;李熙雄;陈闰泰;金希泰;金世训 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦;洪玉姬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及蚀刻液组合物，提供一种在蚀刻上部金属膜的工序中能够使对下部金属膜的损伤达到最小的蚀刻液组合物。根据本发明的蚀刻液组合物，在上部膜的蚀刻工序中能够抑制下部膜的损伤，使金属析出物的生成最少，防止发生偏态(skew)，提高工序效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
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- 2020-03-16 - 2022-12-02 - C23F1/30
- 本发明提供银薄膜蚀刻液组合物、蚀刻方法及金属图案的形成方法，上述银薄膜蚀刻液组合物相对于组合物总重量，包含：(A)银氧化剂0.1～20重量％；(B)无机酸0.1～20重量％；(C)以下化学式1所表示的化合物0.01～10重量％；以及(D)水50～99重量％，其中，上述化学式1中，R
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