[发明专利]一种多光子聚合面成型三维纳米直写加工系统及方法在审
| 申请号： | 201910673003.4 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110449743A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 庞应龙;汤晖;李伟健;廖智燊;陈桪;高健;陈新 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/067;B23K26/064;B23K26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 林丽明<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 510006广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及纳米结构制备技术领域，提出一种多光子聚合面成型三维纳米直写加工系统，包括依次设置的激光器、分光器、摆镜、宏微运动平台，以及用于根据导入的加工模型分析得到相应的加工区域路径分别对各部件发送控制信号的控制器，其中激光器根据控制信号调整光路的焦点和高度，摆镜根据控制信号进行偏摆，宏微运动平台根据控制信号进行宏微复合运动。本发明还提出一种多光子聚合面成型三维纳米直写加工方法。本发明通过分光器将单激光束分为若干个激光束进行多点同时加工，结合摆镜的偏摆运动及宏微运动平台的宏微复合运动实现三微纳米直写加工，能够有效提高加工效率，实现同时兼顾直写加工技术的写入分辨力和衍射效率。 | ||
| 搜索关键词： | 直写 宏微运动平台 摆镜 加工 复合运动 控制信号 激光器 分光器 聚合面 光子 成型 三维 控制信号调整 制备技术领域 单激光束 发送控制 加工区域 加工系统 加工效率 模型分析 纳米结构 偏摆运动 衍射效率 依次设置 控制器 激光束 微纳米 光路 偏摆 分辨 写入 焦点 | ||
【主权项】：
1.一种多光子聚合面成型三维纳米直写加工系统，其特征在于：包括依次设置的激光器(1)、分光器(2)、摆镜(3)、宏微运动平台(4)，以及用于根据导入的加工模型分析得到相应的加工区域路径分别对激光器、摆镜、宏微运动平台发送控制信号的控制器，其中所述激光器(1)根据控制信号调整光路的焦点和高度，所述摆镜(3)根据控制信号进行偏摆，所述宏微运动平台(4)根据控制信号进行宏微复合运动；所述激光器(1)发出的入射激光经过所述分光器(2)后得到多束并行激光，所述多束并行激光经过摆镜(3)后投射到放置有光敏材料的宏微运动平台(4)，所述宏微运动平台(4)根据所述控制信号进行宏微复合运动，并将所述宏微运动平台(4)的位置信息向控制器进行反馈。/n
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