[发明专利]用ICP-MS对液体材料进行定量检测的方法在审
| 申请号： | 201910511659.6 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110108779A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 宫尾秀一;张婉婉 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N1/28;G01N1/40 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;宋海花 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用ICP‑MS对液体材料进行定量检测的方法，其特征在于，将所述液体材料不经化学前处理而直接导入至位于形成等离子体火焰的中心部的等离子体焰炬，对液体材料中所含的杂质元素或杂质进行定量。本发明的方法无需繁琐的化学前处理，操作简单，并且样品不易污染，测定结果准确、再现性稳定，能够进行连续测定从而能够在制造工序中对液体材料进行监测。 | ||
| 搜索关键词： | 液体材料 定量检测 前处理 等离子体火焰 等离子体焰炬 连续测定 杂质元素 制造工序 再现性 中心部 监测 污染 | ||
【主权项】：
1.一种用ICP‑MS对液体材料进行定量检测的方法，其特征在于，将所述液体材料不经化学前处理而直接导入至位于形成等离子体火焰的中心部的等离子体焰炬，对液体材料中所含的杂质元素或杂质进行定量。
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