[发明专利]用于微波感应的等离子体的等离子体焰炬无效

专利信息
申请号: 03817194.5 申请日: 2003-05-21
公开(公告)号: CN1669368A 公开(公告)日: 2005-09-14
发明(设计)人: M·R·哈默 申请(专利权)人: 美国瓦里安澳大利亚有限公司
主分类号: H05H1/34 分类号: H05H1/34;H05H1/42;G01N21/73
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 李家麟
地址: 澳大利亚*** 国省代码: 澳大利亚;AU
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摘要: 对样品作微波感应的等离子体光谱化学分析的等离子体焰炬(10)包括入口(18)里的喷口(30),用于焰炬(10)的外管(12)与中间管(14)之间的主等离子体气流。对于管子12与14之间环形隙(22)的气流提供的等离子体,焰炬(30)提高了铠装气体层里的气流速度,使该层“变硬”,因而更好地约束微波感应的等离子体(对ICP焰炬无需这样做)。与ICP焰炬相比,这种焰炬改善了对微波感应的等离子体的耐用性。样品注入(内)管(16)在其基本上与中间管(14)端部(35)为同一水平的端部(34),具有直径减小的出口,改进了将样品注入微波感应的等离子体。样品注入管(16)的入口端(26)有一加热器(36),有助于防止管(16)在其出口端附近阻塞。
搜索关键词: 用于 微波 感应 等离子体
【主权项】:
1,一种用于等离子体光谱化学分析的焰炬,其特征在于包括:外管、中间管和内管,内管基本上同轴地定位在中间管内,用于把载送分析样品的第一气流注入焰炬内产生的等离子体。导入中间管让第二气流进入内管与中间管之间空间的中间气体入口,用于控制焰炬内产生的等离子体的轴向位置。导入外管在外管与中间管之间提供第三气流的外气体入口,用于对焰炬内产生的等离子体提供铠装气体层。其中外气体入口偏离焰炬中心轴线,使螺旋流在沿焰炬移动时传给提供的第三气体而提供铠装气体层,以及与外气体入口关联的装置,用于相比所述装置上游的气速提高铠装气体的气速,以增大铠装气体层对等离子体的约束力。
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