[发明专利]一种槽天线耦合式超导转变边缘偏振探测器阵列及其制备工艺有效
| 申请号： | 201910309104.3 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110085734B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 徐达;刘建设;陈炜 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L39/12 | 分类号： | H01L39/12;H01L39/24;H01L27/18;H01Q21/00;H01Q23/00;H01P1/20 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 段俊涛 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种槽天线耦合式超导转变边缘偏振探测器阵列，具有64像素，其512个焊接点分布于阵列上下两端，每个像素由槽天线阵列、两个带通滤波器和两个超导转变边缘传感器组成，每个超导转变边缘传感器由两种具有不同超导转变温度的超导薄膜串联组成。本发明还提供了一种槽天线耦合式超导转变边缘偏振探测器阵列制备工艺，全部采用光刻技术制作，共十二次光刻工艺，采用SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 天线 耦合 超导 转变 边缘 偏振 探测器 阵列 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种槽天线耦合式超导转变边缘偏振探测器阵列，包括若干呈矩形阵列形式的像素单元(1)，所有像素单元(1)的焊线点(2)分布于整个芯片的上下两端，其特征在于，所述像素单元(1)包括槽天线阵列(3)，槽天线阵列(3)连接作用于竖直方向微波信号的带通滤波器一(4)和超导转变边缘传感器一(6)以及作用于水平方向微波信号的带通滤波器二(5)和超导转变边缘传感器二(7)。
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