[发明专利]原子态等离子体形成装置及其应用在审
| 申请号： | 201910189788.8 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109905955A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘新宇;尤楠楠;王盛凯;白云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种原子态等离子体形成装置及其应用。该装置包括：微波等离子体反应单元，用于通过微波能量耦合待激发气体以激发产生等离子体火球；气压控制单元，与微波等离子体反应单元连通，用于向微波等离子体反应单元中输送待激发气体；原子态控制单元，分别与微波等离子体反应单元以及气压控制单元连通，用于对等离子体火球产生气体扰动以调控原子态等离子体与分子态等离子体的激发比例。该装置借助气体扰动，使等离子体维持在初期的原子态，实现了对原子态等离子体与分子态等离子体激发比例的调控；并且，该装置若不启动气体扰动，在等离子体起辉后，反应腔内将维持分子态等离子的激发，从而实现分子态等离子和原子态等离子的调控激发。 | ||
| 搜索关键词： | 原子态 等离子体 微波等离子体 反应单元 分子态 气体扰动 等离子 等离子体形成装置 等离子体火球 气压控制单元 激发 激发气体 连通 调控 等离子体激发 等离子体起辉 微波能量耦合 反应腔 应用 | ||
【主权项】：
1.一种原子态等离子体形成装置，其特征在于，包括：微波等离子体反应单元(10)，用于通过微波能量耦合待激发气体以激发产生等离子体火球；气压控制单元，与所述微波等离子体反应单元(10)连通，用于向所述微波等离子体反应单元(10)中输送所述待激发气体；原子态控制单元，分别与所述微波等离子体反应单元(10)以及所述气压控制单元连通，用于对所述等离子体火球产生气体扰动以调控原子态等离子体与分子态等离子体的激发比例。
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