[发明专利]高能电子3D成像装置及方法有效
| 申请号： | 201910149803.6 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109872937B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 赵全堂;张子民;马圆圆;曹树春;申晓康 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H04N13/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 一种高能电子3D成像装置及方法，应用于高能电子成像技术领域，包括：电子枪，用于发射电子束；加速器，用于将电子束加速以获得高能电子束；束流运输组件，用于传输高能电子束，以及，调控高能电子束的束流质量；旋转支架，用于放置待成像样品，调节待成像样品的预置放置角度；探测器系统，用于接收高能电子束，获取因接收高能电子束而形成的第一成像，并存储第一成像的图像数据；点对点磁透镜成像系统，用于放大第一成像及调节第一成像的清晰度；3D重建系统，用于通过3D重建算法处理第一成像的图像数据，以得到待成像样品的3D成像。本公开可实现3D成像，有效解决现阶段成像技术仅能实现二维成像的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 高能 电子 成像 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高能电子3D成像装置，其特征在于，包括：电子枪，用于发射电子束；加速器，用于将所述电子束加速以获得高能电子束；束流运输组件，用于传输所述高能电子束，以及，调控所述高能电子束的束流品质；旋转支架，用于放置待成像样品，调节所述待成像样品的预置放置角度；探测器系统，用于接收所述高能电子束，获取因接收所述高能电子束而形成的第一成像，并存储所述第一成像的图像数据；点对点磁透镜成像系统，用于放大所述第一成像及调节所述第一成像的清晰度；3D重建系统，用于通过3D重建算法处理所述第一成像的图像数据，以得到所述待成像样品的3D成像。
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