[发明专利]声波谐振器、包括其的声波谐振器滤波器及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201910122951.9 申请日: 2019-02-18
公开(公告)号: CN110611493A 公开(公告)日: 2019-12-24
发明(设计)人: 李泰京;金泰润;金锺云;李文喆;姜龙进;李男贞 申请(专利权)人: 三星电机株式会社
主分类号: H03H9/15 分类号: H03H9/15;H03H9/54;H03H9/02;H03H3/02
代理公司: 11286 北京铭硕知识产权代理有限公司 代理人: 武慧南;钱海洋
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 本公开提供一种声波谐振器、包括其的声波谐振器滤波器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;以及谐振部,包括顺序地层叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极,并且被划分为中央部以及沿着所述中央部的外周设置的延伸部,其中,所述谐振部被构造为具有不对称的多边形平面,在所述延伸部中的所述压电层的下方设置有内置层,并且在所述延伸部中的所述压电层被构造为具有升高以符合所述内置层的形状的形状,并且所述内置层被构造为具有与所述延伸部的形状对应的不对称的多边形形状。
搜索关键词: 延伸部 声波谐振器 内置层 压电层 不对称 谐振部 中央部 基板 滤波器 多边形平面 多边形形状 第二电极 第一电极 顺序地层 形状对应 外周 升高 制造
【主权项】:
1.一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:/n基板;以及/n谐振部,包括顺序地层叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极,并且被划分为中央部以及沿着所述中央部的外周设置的延伸部,/n其中,所述谐振部被构造为具有不对称的多边形平面,/n在所述延伸部中的所述压电层的下方设置有内置层,并且在所述延伸部中的所述压电层被构造为具有升高以符合所述内置层的形状的形状,并且/n所述内置层被构造为具有与所述延伸部的形状对应的不对称的多边形形状。/n
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