[发明专利]声波谐振器、包括其的声波谐振器滤波器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910122951.9 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN110611493A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李泰京;金泰润;金锺云;李文喆;姜龙进;李男贞 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/54;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 11286 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 武慧南;钱海洋 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 延伸部 声波谐振器 内置层 压电层 不对称 谐振部 中央部 基板 滤波器 多边形平面 多边形形状 第二电极 第一电极 顺序地层 形状对应 外周 升高 制造 | ||
1.一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：
基板；以及
谐振部，包括顺序地层叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极，并且被划分为中央部以及沿着所述中央部的外周设置的延伸部，
其中，所述谐振部被构造为具有不对称的多边形平面，
在所述延伸部中的所述压电层的下方设置有内置层，并且在所述延伸部中的所述压电层被构造为具有升高以符合所述内置层的形状的形状，并且
所述内置层被构造为具有与所述延伸部的形状对应的不对称的多边形形状。
2.根据权利要求1所述的声波谐振器，其中，所述内置层被构造为包括具有倾斜表面的倾斜部分，所述倾斜部分具有随所述内置层距所述中央部的距离的增大而增大的厚度，并且
所述压电层包括设置在所述倾斜表面上的倾斜部。
3.根据权利要求1所述的声波谐振器，其中，所述内置层被构造为具有至少一部分，所述至少一部分设置在所述第一电极的下方或所述第二电极的下方，或者设置在所述第一电极与所述压电层之间。
4.根据权利要求2所述的声波谐振器，其中，所述第二电极被构造为具有设置在所述延伸部中的至少一部分。
5.根据权利要求4所述的声波谐振器，其中，设置在所述延伸部中的所述第二电极被构造为设置在所述压电层的所述倾斜部的倾斜表面上，并且被构造为被设置为具有比所述压电层的所述倾斜部的所述倾斜表面的面积小的面积。
6.根据权利要求4所述的声波谐振器，其中，设置在所述延伸部内的所述第二电极被构造为设置在所述压电层的所述倾斜部的整个倾斜表面上。
7.根据权利要求4所述的声波谐振器，其中，所述压电层包括从所述压电层的所述倾斜部向外延伸的延伸部，并且
所述第二电极被构造为设置在所述压电层的所述倾斜部和所述压电层的所述延伸部上。
8.根据权利要求2所述的声波谐振器，其中，所述内置层包括至少三条边和连接所述至少三条边的至少三个顶点，并且
所述倾斜表面在所述至少三条边中的每条边的中央处的倾斜角与所述倾斜表面在所述至少三条边中的每条边的端部处的倾斜角不同。
9.根据权利要求8所述的声波谐振器，其中，所述倾斜表面在所述内置层的所述至少三条边中的每条边的中央处的倾斜角小于所述倾斜表面在所述至少三条边中的每条边的端部处的倾斜角。
10.根据权利要求8所述的声波谐振器，其中，所述倾斜表面在所述内置层的所述至少三条边中的每条边的端部处的倾斜角比所述倾斜表面在所述至少三条边中的每条边的中央处的倾斜角大5度或更多。
11.根据权利要求8所述的声波谐振器，其中，所述内置层的倾斜角被构造为在5度至70度的范围内。
12.根据权利要求1所述的声波谐振器，其中，所述内置层利用与所述压电层的材料不同的材料形成。
13.根据权利要求1所述的声波谐振器，其中，所述内置层利用电介质形成。
14.一种声波谐振器滤波器，所述声波谐振器滤波器包括：
基板；以及
第一谐振器和第二谐振器，在所述基板上彼此相邻地设置，所述第一谐振器和所述第二谐振器中的每者被构造为具有不对称的多边形形状的平面，
其中，所述第一谐振器和所述第二谐振器中的每者包括顺序地层叠的第一电极、压电层和第二电极，并且被划分为中央部以及沿着所述中央部的外周设置的延伸部，并且
其中，在所述延伸部中的所述压电层的下方设置有内置层，并且在所述延伸部中的所述压电层被构造为具有升高以符合所述内置层的形状的形状。
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