[发明专利]基板处理方法和基板处理装置

摘要

本发明提供一种即使在将溶解氧浓度被调整的处理液进行再利用的情况下，也能够以极其稳定的品质处理基板的基板处理方法和基板处理装置。在供给容器中贮存处理液。测量处理液的溶解氧浓度。通过向供给容器内供给非活性气体的浓度高于空气的浓度调整气体，根据测量出的处理液的溶解氧浓度调整供给容器内的处理液的溶解氧浓度。向基板供给供给容器内的处理液。由供给容器回收供给至基板的处理液。在由供给容器回收处理液之前，使不需要气体在处理液中减少，不需要气体是浓度调整气体以外的气体，在基板的处理中溶入处理液中。

主权项

1.一种基板处理方法，其中，包括：处理液贮存工序，在供给容器中贮存处理液；溶解氧浓度测量工序，测量所述处理液的溶解氧浓度；溶解氧浓度调整工序，通过向所述供给容器内供给非活性气体的浓度高于空气的浓度调整气体，根据在所述溶解氧浓度测量工序中测量出的所述处理液的溶解氧浓度调整所述供给容器内的所述处理液的溶解氧浓度；处理液供给工序，向基板供给所述供给容器内的所述处理液；处理液回收工序，将供给至所述基板的所述处理液回收到所述供给容器；不需要气体减少工序，在供给至所述基板的所述处理液由所述供给容器回收之前，使不需要气体在所述处理液中减少，所述不需要气体是所述浓度调整气体以外的气体，在所述处理液供给工序中溶入所述处理液中。