[发明专利]标准单元图形的筛选方法有效
| 申请号： | 201910033117.2 | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111435656B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 侯开华;陈志强;张凤娟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/02 | 分类号： | H01L27/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 薛异荣;吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种标准单元图形的筛选方法，包括：在特征单元图案组沿第二方向的两侧分别设置第一附加图案组，第一附加图案组包括奇数个第一附加图案，所述标准单元的图形以及标准单元的图形周围的第一附加图案组构成第一测试总图案；在特征单元图案组沿第二方向的两侧分别设置第二附加图案组，第二附加图案组包括偶数个第二附加图案，所述标准单元的图形以及标准单元的图形周围的第二附加图案组构成第二测试总图案；采用奇数环规则判断模块对第一测试总图案和第二测试总图案分别进行奇数环规则判断，进而判断标准单元中电源线图形和地线图形能够被拆分在相同的掩膜板中还是在不同的掩膜板中。所述方法降低了运行负荷。 | ||
| 搜索关键词： | 标准 单元 图形 筛选 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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