[发明专利]一种金属铱针尖的电化学制备装置及制备方法在审

专利信息
申请号: 201910031214.8 申请日: 2019-01-11
公开(公告)号: CN109709353A 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 郑磊;刘华荣;王学慧;程协 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
主分类号: G01Q70/16 分类号: G01Q70/16
代理公司: 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 代理人: 王林
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种金属铱针尖的电化学制备装置及制备方法,包括刻蚀调节装置、控制电路和电化学池,电极放置在电解液内,探针夹具将待制备铱丝的端部放置在电解液内,可变压交流电压源的正负极通过控制电路分别与电极和探针夹具连接形成刻蚀电路;刻蚀调节装置调节所述待制备铱丝伸入所述电解液液面下的长度尺寸;控制电路采集刻蚀电路中有效的实时电流值并控制刻蚀电路的连通或断开;本发明通过所述控制电路控制刻蚀的终点,可以精确的控制刻蚀电压切断时间,操作方便,制备的铱针尖曲率半径小,重复性好,容易获得铱丝刻蚀的最佳条件,使制备的针尖保持较好的形貌,且具有较高的成功率和较好的重现性。
搜索关键词: 制备 刻蚀 控制电路 针尖 刻蚀电路 铱丝 电化学制备 调节装置 探针夹具 电解液 金属铱 电极 形貌 电解液液面 交流电压源 电化学池 电压切断 实时电流 最佳条件 正负极 重现性 可变 断开 伸入 成功率 连通 采集
【主权项】:
1.一种金属铱针尖的电化学制备装置,其特征在于,包括刻蚀调节装置、控制电路和电化学池,所述刻蚀调节装置包括探针夹具;所述电化学池包括电极、待制备铱丝及电解液;所述电极放置在所述电解液内,所述探针夹具夹取所述待制备铱丝将所述待制备铱丝的端部放置在所述电解液内,可变压交流电压源的正负极通过所述控制电路分别与所述电极和所述探针夹具连接形成刻蚀电路;所述刻蚀调节装置控制所述探针夹具的高度从而调节所述待制备铱丝伸入所述电解液液面下的长度尺寸;所述控制电路采集所述刻蚀电路中有效的实时电流值并控制所述刻蚀电路的连通或断开。
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