[发明专利]一种钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结及其制备方法有效
| 申请号： | 201910022200.X | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109628890B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 陈明敬;宁兴坤;方立德;孟庆刚;王江龙;王淑芳;李小亭 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08;C23C14/58;H01L43/08 |
| 代理公司： | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人： | 黄慧慧 |
| 地址： | 071002 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结及其制备方法，所述钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结的厚度为30~60 nm，其包括钌酸锶薄膜和镧锶锰氧薄膜，所述镧锶锰氧薄膜中各成分的摩尔比La∶Sr∶Mn∶O=1‑x∶x∶1∶3，0≤x≤1；所述钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结是采用脉冲激光沉积法制得的。本发明钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结的制备工艺简单，生产成本低，通过改变镧锶锰氧薄膜中Sr元素的掺杂含量可精确有效调控钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结的横向、纵向交换偏置方向和数值，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钌酸锶 镧锶锰氧 过渡 金属 氧化物 异质结 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结，其特征在于，其厚度为30~60 nm；所述钌酸锶/镧锶锰氧过渡金属氧化物异质结包括钌酸锶薄膜和镧锶锰氧薄膜，所述镧锶锰氧薄膜中各成分的摩尔比La∶Sr∶Mn∶O=1‑x∶x∶1∶3，0≤x≤1。
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