[发明专利]用于涂覆基板的系统和工艺在审
申请号: | 201880096190.8 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN112513318A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔;托马斯·德皮希;克里斯蒂安·尼克 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/08;C23C14/34;C23C16/54 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 描述了一种用于涂覆基板的系统。所述系统包括:运输布置,所述运输布置用于移动所述基板;和第一涂覆单元,所述第一涂覆单元被配置为用第一材料涂覆所述基板。所述系统进一步包括控制器,所述控制器被配置为在所述第一涂覆单元的活动状态期间使所述基板的移动方向反向至少一次。 | ||
搜索关键词: | 用于 涂覆基板 系统 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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