[发明专利]以非重叠方式施加频率和匹配调谐以处理衬底的系统和方法在审
| 申请号： | 201880086405.8 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN111602223A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 吴垠;亚历克斯·帕特森;约翰·德鲁厄里;亚瑟·萨托 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于以不重叠方式施加频率和匹配调谐的系统和方法。例如，在一时间间隔调谐射频(RF)产生器，而在该时间间隔内不调谐阻抗匹配。在调谐RF发生器之前或之后，调谐阻抗匹配。RF产生器和阻抗匹配的调谐中的这种不重叠有助于在脉冲期间降低反射功率，而RF发生器的调谐不会干扰阻抗匹配的调谐。 | ||
| 搜索关键词： | 重叠 方式 施加 频率 匹配 调谐 处理 衬底 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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