[发明专利]电压对比量测标记在审
| 申请号： | 201880079555.6 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN111448519A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | C·E·塔贝里;S·H·C·范戈尔普;S·P·S·哈斯廷斯;B·彼得森 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种测量标记。根据某些实施例，该测量标记包括显影在衬底上的第一层中的第一测试结构集合，第一测试结构集合中的每个第一测试结构包括由第一导电材料制成的多个第一特征。该测量标记还包括显影在邻近第一层的第二层中的第二测试结构集合，第二测试结构集合中的每个第二测试结构包括由第二导电材料制成的多个第二特征。测量标记被配置为：当使用电压对比成像方法而被成像时，指示第一测试结构集合与第二测试结构集合中的相关联的第二测试结构之间的连接性。 | ||
| 搜索关键词： | 电压 比量 标记 | ||
【主权项】：
暂无信息
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