[发明专利]外观检查装置及外观检查方法在审
| 申请号： | 201880051640.1 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111033243A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 山田荣二 | 申请（专利权）人： | 日本电产株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提高检测工件的表面的异常的精度。一种检测工件(W)的外观的外观检查装置(500)，其检查工件(W)的外观，且包括：第一照明部(110)，其对工件(W)照射光；第一拍摄部(120)，其拍摄被第一照明部(110)照射的工件(W)；第一检测部(130)，其根据第一拍摄部(120)拍摄出的图像(P1)检测第一不良；第二照明部(210)，其对工件(W)照射光；第二拍摄部(220)，其拍摄被第二照明部(210)照射的工件(W)；以及第二检测部(230)，其根据第二拍摄部(220)拍摄出的图像检测第二不良，第一照明部(110)使用同轴落射照明，第二照明部(210)使用同轴落射照明及穹顶照明。 | ||
| 搜索关键词： | 外观 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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