[发明专利]外观检查装置及外观检查方法

说明书

本发明提高检测工件的表面的异常的精度。一种检测工件(W)的外观的外观检查装置(500)，其检查工件(W)的外观，且包括：第一照明部(110)，其对工件(W)照射光；第一拍摄部(120)，其拍摄被第一照明部(110)照射的工件(W)；第一检测部(130)，其根据第一拍摄部(120)拍摄出的图像(P1)检测第一不良；第二照明部(210)，其对工件(W)照射光；第二拍摄部(220)，其拍摄被第二照明部(210)照射的工件(W)；以及第二检测部(230)，其根据第二拍摄部(220)拍摄出的图像检测第二不良，第一照明部(110)使用同轴落射照明，第二照明部(210)使用同轴落射照明及穹顶照明。

技术领域

本发明涉及一种外观检查装置及外观检查方法。

背景技术

以往，已知一种使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置。例如，在专利文献1中公开了一种外观检查装置，其包括使用蓝色LED穹顶照明及蓝色LED同轴落射照明的拍摄单元和使用白色LED穹顶照明及白色LED同轴落射照明的拍摄单元。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-137921号公报

发明内容

发明所要解决的课题

近年来，在检查硬盘驱动器的基板的外观时，使用外观检查装置，检查的自动化被推进。作为外观检测装置，例如，应用上述的使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置。

在通过铸造成形基板时，在基板的表面形成有皱纹、浅凹凸或粗糙面。以下，将形成于基板的表面的皱纹、浅凹凸或粗糙面总称为底纹。此外，底纹不是基板的外观的不良。

在利用使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置检查基板的外观的情况下，在拍摄出的图像中，在基板的底纹产生的阴影被消除。通过基板的底纹被消除，能够仅检测基板的表面形状的异常。即，使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置能够检测基板的表面的缺损、表面涂层的剥落或毛刺。在此，表面涂层是指施加于基板表面的表面膜。该表面处理为了基板表面的防锈、绝缘以及防尘而进行。

另一方面，例如，有时如粘接剂这样的附着于基板的表面的异物在拍摄出的图像中不能与基板的底纹区分开。也就是，在使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置中，在拍摄出的图像中，有时与因底纹而产生的阴影同等的阴影消失。其结果，在使用同轴落射照明及穹顶照明的外观检查装置中，有时无法检测附着于工件的表面的异物。

鉴于上述问题，本发明的目的在于提高检测工件的表面的异常的精度。

用于解决课题的方案

本申请的示例性的一实施方式的外观检查装置为检查工件的外观的外观检查装置，其包括：第一照明部，其对上述工件照射光；第一拍摄部，其拍摄被上述第一照明部照射的上述工件；第一检测部，其根据上述第一拍摄部拍摄出的图像检测第一不良；第二照明部，其对上述工件照射光；第二拍摄部，其拍摄被上述第二照明部照射的上述工件；以及第二检测部，其根据上述第二拍摄部拍摄出的图像检测第二不良，上述第一照明部使用同轴落射照明，上述第二照明部使用同轴落射照明及穹顶照明。

发明效果

根据本申请的示例性的实施方式，能够在拍摄出的图像中检测难以与底纹区分开的附着于工件的表面的异物，并且在拍摄的图像中消除工件的底纹，检测工件的表面的异常。

附图说明

图1是外观检查装置的示意图。

图2是第一照明部的示意图。

图3是第二照明部的示意图。

图4是表示搬送部的示意图。

图5是硬盘驱动器的基板的俯视图。