[发明专利]外观检查装置及外观检查方法

权利要求书

1.一种外观检查装置，其检查工件的外观，该外观检查装置的特征在于，包括：

第一照明部，其对上述工件照射光；

第一拍摄部，其拍摄被上述第一照明部照射的上述工件；

第一检测部，其根据上述第一拍摄部拍摄出的图像检测第一不良；

第二照明部，其对上述工件照射光；

第二拍摄部，其拍摄被上述第二照明部照射的上述工件；以及

第二检测部，其根据上述第二拍摄部拍摄出的图像检测第二不良，

上述第一照明部使用同轴落射照明，

上述第二照明部使用同轴落射照明及穹顶照明。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，

包括使上述工件朝向上述第二照明部上升或下降的升降部，

上述升降部设于上述第二照明部的铅垂方向的下方。

3.根据权利要求1或2所述的外观检查装置，其特征在于，

上述第一照明部及上述第二照明部使用白色光。

4.一种外观检查方法，检查工件的外观，该外观检查方法的特征在于，包括以下工序：

第一照明工序，对上述工件照射光；

第一拍摄工序，拍摄在上述第一照明工序中被照射的上述工件；

第一检测工序，根据在上述第一拍摄工序中拍摄出的图像检测第一不良；

第二照明工序，对上述工件照射光；

第二拍摄工序，拍摄在上述第二照明工序中被照射的上述工件；以及

第二检测工序，根据在上述第二拍摄工序中拍摄出的图像检测第二不良，

在上述第一照明工序中，使用同轴落射照明，

在上述第二照明工序中，使用同轴落射照明及穹顶照明。

5.根据权利要求4所述的外观检查方法，其特征在于，

在上述第二照明工序中，上述工件沿铅垂方向上升或下降。

6.根据权利要求4或5所述的外观检查方法，其特征在于，

在上述第一照明工序及上述第二照明工序中，使用白色光。