[发明专利]辐射源有效
| 申请号： | 201880035555.6 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN110692283B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | H·M·米尔德;M·A·范德柯克霍夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;H01S3/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种辐射源，包括：燃料发射器，所述燃料发射器被配置成将燃料液滴提供给等离子体形成区域；和激光器系统，所述激光器系统被配置为提供激光束；其中所述激光器系统包括延迟线路，所述延迟线路被配置为相对于所述激光束的次要部分延迟所述激光束的主要部分，使得所述激光束的次要部分的脉冲在所述激光束的主要部分的脉冲之前入射在所述等离子体形成区域。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 | ||
【主权项】：
1.一种辐射源，包括：/n燃料发射器，所述燃料发射器被配置成将燃料液滴提供给等离子体形成区域；和/n激光器系统，所述激光器系统被配置为提供激光束；其中/n所述激光器系统包括延迟线路，所述延迟线路被配置为相对于所述激光束的次要部分延迟所述激光束的主要部分，使得所述激光束的所述次要部分的脉冲在所述激光束的所述主要部分的脉冲之前入射在所述等离子体形成区域。/n
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- 2021-04-26 - 2023-01-31 - H05G2/00
- 一种液滴生成器喷嘴(800，820/830)，包括：金属本体(802，822)；邻近金属本体布置的金属装配件(812，823/833)；以及包括第一端和第二端的毛细管(804，824/834)。毛细管的第一端设置在金属装配件内，并且毛细管被配置从毛细管的第二端喷射材料的初始液滴。液滴生成器喷嘴还包括机电元件(808，828/838)和紧固件元件(810)，机电元件设置在金属本体内并耦接到毛细管的第一端，紧固件元件构造成围绕金属本体的一部分并围绕金属装配件夹紧。机电元件被配置成施加影响从毛细管的液滴生成的变化。毛细管的第二端从液滴生成器喷嘴的紧固件元件中的开口伸出。图8C的液滴生成器喷嘴830表示在与图8所示的横截面正交的横截面中的图8B所示的实施例。
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