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[发明专利]极紫外光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法-CN202310462841.3在审
发明人： 孙海轶;王关德;彭凯伦;邹家杰;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种极紫外(EUV)光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法，包括储液器、喷嘴、压电陶瓷、驱动器。本发明用于极紫外(EUV)光刻光源中周期性液滴靶的稳定产生，本发明具有调控方法易于操作，可调节范围大，适用于EUV光刻光源中稳定液滴的产生。
紫外光刻光源产生稳定液滴靶调控系统方法

[发明专利]提升和测量高重频超快激光光丝指向稳定性的装置及方法-CN202011327252.7有效
发明人：刘尧香;王铁军;郭豪;陈娜;孙海轶;冷雨欣;李儒新 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种检测高重频超快激光光丝指向稳定性的装置，包括：超快激光器、陶瓷片、显微镜，以及沿该超快激光器出射激光方向放置的聚焦透镜；提升高重频超快激光光丝指向稳定性的装置，包括：超快激光器、陶瓷片、显微镜、与高压电源相连接的金属电极，以及沿该超快激光器出射激光方向放置的聚焦透镜；以及提升和测量高重频超快激光光丝指向稳定性的方法。本发明用高压加载的金属电极在超快激光气体成丝区域施加外加电场，基于外加电场与超快激光光丝内等离子体之间的强相互作用，利用激光等离子体对高重频激光后续脉冲的引导作用来达到提升高重频超快激光光丝指向稳定性的目的。
提升测量高重频超快激光指向稳定性装置方法

[发明专利]小型流体循环系统及产生循环流体的方法-CN202310462821.6在审
发明人： 孙海轶;彭凯伦;邹家杰;王关德;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05G1/02 文献下载
摘要：一种小型流体循环系统及产生循环流体的方法，系统包括泵体、背压阀、压力传感器、压力表、过滤器、质量流量计、缓冲罐、截止阀、喷嘴、截止阀、具有开关的储液罐、具有开关的氮气瓶和具有开关的氩气瓶。流体在泵体的作用下做循环往复流动，液柱直径通过所述的喷嘴的直径调节，流量和速度通过所述的背压阀调节，质量流量计可实时显示管道中流体的实际流量。本发明具有安装方便、集成化程度高、射流的直径、速度和流量调节方便、操作简单的特点，适用于不同波段等离子体光的发射，及相关的科学研究或平台开发。
小型流体循环系统产生循环方法

[发明专利]气体中产生的低抖动高强度超连续谱光源及其检测系统-CN202011327305.5有效
发明人：王铁军;刘尧香;郭豪;陈娜;孙海轶;冷雨欣;李儒新 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体中产生的低抖动高强度超连续谱光源，包括：超快激光器、高压电源、与该高压电源相连接的金属电极，以及沿该超快激光器出射激光方向放置的聚焦透镜及其检测系统，基于外加电场对超快激光气体等离子体光丝通道内自由电子的静电作用，来调控通过光丝产生的超连续谱激光，获得具有高稳定、高重频、高能量的超快、超连续谱相干光源。本发明对于基于超连续白光激光的应用，如远程大气探测、超短激光脉冲压缩、大容量信息通讯以及超快激光光谱等应用，有着极其重要的意义。
气体产生抖动强度连续谱光源及其检测系统

[发明专利]一种用于极紫外光刻光源中喷嘴的清洗装置与方法-CN202111342506.7在审
发明人： 孙海轶;王成;王关德;李学红;邹家杰;彭凯伦;王天泽;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于极紫外(EUV)光刻光源中喷嘴的清洗装置，包括：供清洗液放置的清洗罐和清洗皿，管道、过滤器、第一阀门、气压控制装置、气瓶、第二阀门和负压泵；采用超纯水或者易挥发的清洁液体清洗喷嘴，清洗过程采用正压和负压相结合的方式，使得喷嘴内的污染物倒吸到清洗罐中。本发明安装方便，易于操作，适用于EUV光刻光源中微小喷嘴的前期清洗。
一种用于紫外光刻光源喷嘴清洗装置方法

[发明专利]一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统-CN202010965090.3有效
发明人： 孙海轶;王成;王关德;邹家杰;李学红;刘科;张宗昕;齐荣;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-09-15 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm锡液不流入储液罐中，从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高，操作安全方便，适用于EUV光源锡原料的罐装。
一种用于 euv 光源中液滴靶一体化原料罐装系统

[实用新型]一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置-CN202120033360.7有效
发明人： 孙海轶;王成;王关德;李学红;邹家杰;刘科;冷雨欣;翟腾飞 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;山东爱特机电技术有限责任公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本实用新型过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
一种用于 euv 光源熔融发生装置

[发明专利]一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置-CN202110017947.3在审
发明人： 孙海轶;王成;王关德;李学红;邹家杰;刘科;冷雨欣;翟腾飞 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;山东爱特机电技术有限责任公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
一种用于 euv 光源熔融发生装置

[发明专利]飞秒激光诱导雪的全自动收集冰晶装置-CN201810290039.X有效
发明人：刘永宏;刘建胜;孙海轶;冷雨欣;翟腾飞 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G01G17/02 文献下载
摘要：一种飞秒激光诱导雪的全自动收集冰晶装置，包括：T形支架、相同长度的第一钢丝和第二钢丝、防雨绸、称重传感器、滑动块和固定块；所述滑动块的两端分别和固定块的两端通过所述的第一钢丝和第二钢丝相连，在所述的第一钢丝和第二钢丝上穿有所述的防雨绸，所述固定块固定在所述T形支架的底端，所述称重传感器固定在所述T形支架的竖直部中部，所述的滑动块在所述的T形支架的竖直部上部滑动，所述的T形支架的水平部两端分别固定于云雾室机械手法兰面内侧，滑动块和固定块由铝合金材料制成。这种装置设计巧妙，操作简单，测量自动快速，能够精准的测量出激光诱导产生的冰晶量。
激光诱导全自动收集冰晶装置

[发明专利]基于椭球面镜-球面镜组合光收集的LPP-EUV光源系统-CN202010660667.X在审
发明人：张宗昕;冷雨欣;王成;程欣;王关德;孙海轶;彭宇杰;王雪培 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种基于椭球面镜‑球面镜组合光收集的LPP‑EUV光源系统，包括泵浦激光脉冲源、带有光学窗片的真空室、凸透镜、靶材、椭球面镜和球面镜。由泵浦激光脉冲源产生泵浦激光脉冲，泵浦激光脉冲通过光学窗片进入真空室，再经凸透镜聚焦而作用于靶材。泵浦激光脉冲作用于靶材而产生EUV光辐射，所产生的EUV光辐射经球面镜和椭球面镜反射而聚焦。本发明采用椭球面镜‑球面镜组合的方式提高EUV光收集效率，从而进一步提升LPP‑EUV光源的功率输出能力。
基于椭球球面镜组合收集 lpp euv 光源系统

[发明专利]基于等离子体约束的LPP-EUV光源系统-CN202010290425.6在审
发明人：张宗昕;冷雨欣;王成;程欣;王关德;孙海轶;彭宇杰;王雪培 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种基于等离子体约束的LPP‑EUV光源系统，包括泵浦激光脉冲源、带有光学窗片的真空室、凸透镜、靶材、磁镜装置和椭球面镜。由泵浦激光脉冲源产生泵浦激光脉冲，泵浦激光脉冲通过光学窗片进入真空室，再经凸透镜聚焦而作用于靶材。泵浦激光脉冲作用于靶材而产生等离子体，等离子体被约束在磁镜装置中而产生EUV辐射，所产生的EUV辐射经椭球面镜反射而聚焦。本发明利用磁镜装置中非均匀磁场对等离子体的约束作用，提升LPP‑EUV光源的功率输出能力并抑制LPP所产生的碎屑污染，从而保障EUV光刻系统的高效稳定运行。
基于等离子体约束 lpp euv 光源系统

[实用新型]一种冰晶接收和自动计量装置-CN201921362107.5有效
发明人： 孙海轶;翟腾飞;刘永宏;鞠晶晶;王成;刘建胜;冷雨欣;马西庚;张永平;张慧峰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;山东爱特机电技术有限责任公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： G01N15/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种冰晶接收和自动计量装置，其中所述的端部支撑块底部为凸块A，顶部固定有盖板A，且盖板A与端部支撑块间穿有环形钢丝，环形钢丝底部通过传感器连接防雨绸；环形钢丝另一端穿过滑动支撑块与盖板B间，滑动支撑块底部为凸块B，凸块B穿在丝杆上，且丝杆上设有外螺纹；丝杆一端焊接在固定块A一侧，丝杆另一端穿过固定块B及转轮与电气传动装置连接，固定块B底部通过螺栓固定在槽钢内；优点为：本实用新型能够整体计量整个实验装置内的冰晶数量，对冰晶的形成过程进行实时追踪，并能通过狭小的操作窗口将冰晶整体取出，方便后续实验设备观察。
一种冰晶接收自动计量装置

[发明专利]电晕诱导水汽凝结的装置及其实施方法-CN201610420897.2有效
发明人：杜盛喆;鞠晶晶;王铁军;李儒新;孙海轶;刘尧香;陈娜;朱忠彬 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-06-14 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： A01G15/00 文献下载
摘要：一种电晕诱导水汽凝结的装置及其实施方法,包括：扩散云室、高压电源、绝缘塑料底座、锥形铜电极、数码相机。本发明利用在扩散云室内触发直流正电晕放电，在高湿低温云雾条件下诱导水汽凝结和沉降的产生。本发明的特点在于利用常见的电晕放电作为一种新的技术手段,通过持续产生高密度等离子体团,以及高压电场下电晕放电产生的离子风驱动的周围气流的涡流运动等，能够在实验室扩散云室条件下诱导水汽凝结和沉降的产生，从而为人工影响天气提供一种新的可能性。
电晕诱导水汽凝结装置及其实施方法

[发明专利]一种冰晶接收和自动计量装置-CN201910774082.8在审
发明人： 孙海轶;翟腾飞;刘永宏;鞠晶晶;王成;刘建胜;冷雨欣;马西庚;张永平;张慧峰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;山东爱特机电技术有限责任公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： G01N15/10 文献下载
摘要：本发明提供一种冰晶接收和自动计量装置，其中所述的端部支撑块底部为凸块A，顶部固定有盖板A，且盖板A与端部支撑块间穿有环形钢丝，环形钢丝底部通过传感器连接防雨绸；环形钢丝另一端穿过滑动支撑块与盖板B间，滑动支撑块底部为凸块B，凸块B穿在丝杆上，且丝杆上设有外螺纹；丝杆一端焊接在固定块A一侧，丝杆另一端穿过固定块B及转轮与电气传动装置连接，固定块B底部通过螺栓固定在槽钢内；优点为：本发明能够整体计量整个实验装置内的冰晶数量，对冰晶的形成过程进行实时追踪，并能通过狭小的操作窗口将冰晶整体取出，方便后续实验设备观察。
冰晶丝杆环形钢丝盖板固定块凸块自动计量装置端部支撑块滑动支撑块电气传动装置槽钢穿过传感器连接操作窗口螺栓固定实时追踪实验设备实验装置整体计量防雨绸外螺纹转轮焊接取出观察

[发明专利]小型化激光诱导水凝结模拟装置-CN201710105521.7有效
发明人：刘永宏;刘建胜;孙海轶;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-02-26 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：一种小型化激光诱导水凝结模拟装置，特点是所述的腔室是采用六块紫铜块合成的小型六面体封闭腔，腔室顶和底的紫铜块的内壁均设有多个密布的小槽，顶和底的紫铜块的外表面都和半导体制冷片的冷却面充分接触，所述的半导体制冷片的散热面充分接触于紫铜块散热片，所述的半导体制冷片以串联的方式通过导线串联后与所述的直流电流源相连，所述腔室的一个侧面还设有湿度调节通道与湿度调节装置相连。这种装置结构更加紧凑，简单，整个装置更加微型化，便于移动，能够实现无温度梯度的低温环境，可适用于更加便捷的研究分析激光诱导水凝结现象。
小型化激光诱导凝结模拟装置

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