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[发明专利]坚固的流体耦合装置-CN202180059154.6在审
发明人： B·A·萨姆斯;D·U·H·特雷斯;V·G·特尔卡;A·I·厄肖夫;T·W·德赖森;S·金卡尔 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： F16J15/06 文献下载
摘要：一种目标材料供应装置，包括：第一流体流动部件和第二流体流动部件(1122，1126)，它们当联结在一起时限定轴向流动路径，其中轴向流动路径在目标材料流体的源和喷嘴供应装置之间；以及耦合装置，其被配置为密封在第一流体流动部件和第二流体流动部件之间的接头。耦合装置包括具有限定内开口的环形形状的垫圈(1105)，当被安置和密封时该内开口是轴向流动路径的一部分。当垫圈被安置在第一流体流动部件和第二流体流动部件之间从而密封通过附接第一流体流动部件和第二流体流动部件而形成的接头时，从沿着轴向流动路径穿过垫圈内开口的目标材料流体施加到垫圈的压力改善了接头处的密封的气密功能。可选地，功能插入件，例如限流件(1160)能够被安置在垫圈中。
坚固流体耦合装置

[发明专利]用于加速EUV源的液滴生成器中的液滴的装置和方法-CN202180046047.X在审
发明人： A·I·厄肖夫;C·拉加古鲁;D·U·H·特雷斯;J·M·卢肯斯;T·W·德赖森;R·J·拉法克;G·O·瓦斯琴科 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：用于加速用于生成EUV辐射的液滴的装置和方法包括产生导向照射区域的激光束的装置和液滴源。液滴源包括以流的形式离开喷嘴的流体，该流分解成液滴，然后经历聚结。然后，液滴受到气流的作用，气流夹带液滴并使之加速。
用于加速 euv 生成器中的装置方法

[发明专利]量测辐射系统中的高压和真空水平传感器-CN202180038819.5在审
发明人： E·M·斯维尔德洛;D·贝塞姆斯;J·D·特德罗;S·莱;G·S·卡瓦利耶;T·W·德赖森;B·A·萨姆斯;D·U·H·特雷斯;E·Z·阿特尼奥;B·M·约翰逊 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：提供了用于测量极紫外(EUV)辐射系统中的辐射燃料的水平的系统、装置和方法。在一个示例中，一种用于测量燃料水平的方法包括：以预定入射角，引导检查射束通过辐射燃料的顶部表面处的燃料箱观察端口。该方法还可以包括：在与观察端口相邻定位的传感器处，接收检查射束的由辐射燃料的顶部表面反射的一部分。此外，该方法可以包括：测量与辐射燃料的顶部表面相距的距离；并且基于所测量的距离来计算燃料箱中的辐射燃料的填充水平。
辐射系统中的高压真空水平传感器

[发明专利]用于光刻辐射系统的远紫外光源的混合液滴生成器-CN202180036798.3在审
发明人： B·A·萨姆斯;D·U·H·特雷斯;T·W·德赖森;H·H·博格雷维;B·M·约翰逊;V·G·特尔卡 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-04-26 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种液滴生成器喷嘴(800，820/830)，包括：金属本体(802，822)；邻近金属本体布置的金属装配件(812，823/833)；以及包括第一端和第二端的毛细管(804，824/834)。毛细管的第一端设置在金属装配件内，并且毛细管被配置从毛细管的第二端喷射材料的初始液滴。液滴生成器喷嘴还包括机电元件(808，828/838)和紧固件元件(810)，机电元件设置在金属本体内并耦接到毛细管的第一端，紧固件元件构造成围绕金属本体的一部分并围绕金属装配件夹紧。机电元件被配置成施加影响从毛细管的液滴生成的变化。毛细管的第二端从液滴生成器喷嘴的紧固件元件中的开口伸出。图8C的液滴生成器喷嘴830表示在与图8所示的横截面正交的横截面中的图8B所示的实施例。
用于光刻辐射系统紫外光源混合液生成器

[发明专利]液滴生成器喷嘴-CN202080072568.8在审
发明人： D·U·H·特雷斯;E·J·比伊斯;T·W·德赖森;B·A·萨姆斯;B·M·约翰逊 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-10-09 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C03C27/02 文献下载
摘要：公开了一种制造用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器喷嘴的方法。所述方法包括将玻璃毛细管设置在金属装配件的通孔中，加热所述金属装配件；以及向所述玻璃毛细管施加压力，使得所述玻璃毛细管与所述通孔的形状保形并与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。还公开了一种用于激光产生的等离子体辐射源的液滴生成器的喷嘴，以及所述辐射源本身，其中所述喷嘴包括用于发射作为液滴的燃料的玻璃毛细管和用于将所述玻璃毛细管耦合到所述液滴生成器的主体的金属装配件，所述玻璃毛细管与所述金属装配件的通孔的形状保形，并且其中所述玻璃毛细管与所述通孔形成直接的玻璃－金属密封。
生成器喷嘴

[发明专利]用于极紫外光源中的流体控制的流体控制设备和方法-CN202080038363.8在审
发明人： B·A·萨姆斯;D·U·H·特雷斯;T·W·德赖森;B·罗林格 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：一种流体控制设备(100)，包括：结构(120)，限定阀腔、第一流体端口(135)、第二流体端口(140)和第三流体端口(145)，第三流体端口(145)被配置为流体地联接到主体的气密内部(105)；以及柱塞阀(130)，位于阀腔内并且被配置为在第一模式与第二模式之间移动，同时维持主体的气密内部。在第一模式下，柱塞阀打开，使得第一流体流动路径在气密内部与第一流体端口之间打开，并且流体在第一流体端口与气密内部之间自由通过。在第二模式下，柱塞阀关闭，使得第一流体端口与气密内部被柱塞阀阻挡开，并且第二流体流动路径在气密内部与第二流体端口之间打开。
用于紫外光源中的流体控制设备方法

[发明专利]控制极紫外光源中的转换效率-CN202080026894.5在审
发明人：王海宁;T·W·德赖森;A·A·沙夫甘斯;D·U·H·特雷斯;D·J·W·布朗;R·J·拉法克 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种极紫外(EUV)光源包括：真空容器；向真空容器的内部供应靶标的靶标材料供应系统，靶标包括在初始靶标区域处具有初始形状的第一靶标；被配置为向第一靶标区域提供第一光束的第一光源，第一光束被配置为修改初始靶标的初始形状；以及被配置为向第二靶标区域提供第二光束的第二光源，第二靶标区域被配置为接收经修改的靶标，第二光束被配置为将经修改的靶标中的靶标材料中的一些靶标材料转换为发射EUV光的等离子体。第一靶标的初始形状被控制以由此控制由第二光束与经修改的靶标之间的相互作用产生的等离子体的量。
控制紫外光源中的转换效率

[发明专利]极紫外光源中的目标提供控制装置和方法-CN202080016586.4在审
发明人： T·W·德赖森 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-02-07 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种用于极紫外(EUV)光源的目标装置(300)包括目标发生器、传感器模块(130)和目标发生器控制器(325)。目标发生器包括被配置为容纳在等离子体状态下产生EUV光的目标材料(114)的容器(115)和与容器流体连通的喷嘴结构(117)。目标发生器在喷嘴结构中限定开口(119)，从容器接收的目标材料通过该开口被释放。传感器模块被配置为：当目标材料沿着朝向目标空间(112)的轨迹行进时，检测与从开口释放的目标材料相关的方面，并且从检测到的方面产生一维信号。目标发生器控制器与传感器模块和目标发生器通信，并且被配置为基于对一维信号的分析来修改目标材料的特性。
紫外光源中的目标提供控制装置方法

[发明专利]用于控制将EUV靶材料引入EUV室的装置和方法-CN201980063225.2在审
发明人： D·U·H·特雷斯;S·R·E·穆什;B·A·萨姆斯;A·梅迪纳·奥斯加拉;T·W·德赖森 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种用于控制将EUV靶材料引入EUV室的装置和方法，其中当在EUV室中形成等离子体不需要EUV靶材料时，诸如在EUV材料的分配器最初被启动或被调节的时段，选择性地阻止EUV靶材料进入EUV室。
用于控制 euv 材料引入装置方法

[发明专利]用于光刻设备的液滴发生器、EUV源和光刻设备-CN201680079694.X有效
发明人： J·F·迪杰克斯曼;B·L·W·M·范德文;K·G·温克尔斯;T·W·德赖森;G·O·瓦申科;P·M·鲍姆加特;W·H·T·M·安格南特;J·O·纽文坎普;W·R·坎平加;J·劳特萨莱南 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2016-12-15 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：液滴发生器，诸如在EUV辐射源中使用，以及相关的EUV辐射源和光刻设备。液滴发生器可以包括用于发射燃料作为液滴的喷嘴组件，喷嘴组件处于与液滴发生器内的燃料压力基本上相同的压力下的加压环境内。液滴发生器可以包括致动器，致动器与泵室接触并且借助于偏置机构抵靠泵室被偏置，偏置机构具有抵靠致动器被偏置的致动器支撑件。致动器作用于泵室内的燃料以产生液滴。致动器支撑件具有与其周围结构相比具有更大的热膨胀系数的材料，使得其在环境温度下在周围结构内可移动，但是在操作温度下抵靠周围结构膨胀，以便在操作温度下将致动器支撑件抵靠周围结构夹紧。
用于光刻设备发生器 euv

[发明专利]用于监测和控制液滴生成器性能的装置和方法-CN201980022585.8在审
发明人： T·W·德赖森;A·I·厄肖夫;B·罗林格;G·O·瓦申科;K·G·温克尔斯;D·U·H·特雷斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-03-15 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种控制用于生成EUV辐射的液滴的形成的装置和方法，该装置和方法包括产生被引导至照射区域的激光束和液滴源的布置。液滴源包括离开喷嘴的流体和具有可电致动元件的子系统，该可电致动元件在流体中产生扰动。液滴源产生束流，该束流分裂成液滴，当液滴朝向照射区域行进时，这些液滴又聚结成较大液滴。通过在束流中的液滴尚未完全聚结的点处观察束流来控制该过程。
用于监测控制生成器性能装置方法

[发明专利]用于极紫外光源的供应系统-CN201880041155.6在审
发明人： K·G·温克尔斯;G·O·瓦申科;T·W·德赖森;J·F·迪杰克斯曼;B·L·W·M·范德文;W·H·T·M·安格南特 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-06-19 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种用于极紫外(EUV)光源的供应系统，包括：装置，被配置为被流体地耦合到贮存器，该贮存器被配置为包含在等离子体状态时产生EUV光的目标材料，该装置包括两个或多个目标形成单元，目标形成单元中的每个目标形成单元包括：喷嘴结构，被配置为从贮存器接收目标材料，该喷嘴结构包括孔口，该孔口被配置为将目标材料发射到等离子体形成位置的孔口。该供应系统还包括控制系统，该控制系统被配置为选择目标形成单元中的、用于将目标材料发射到等离子体形成位置的特定目标形成单元。一种用于超紫外线(EUV)光源的供应系统的装置，包括以半导体器件制造技术所制造的MEMS系统，并且该MEMS系统包括被配置为被流体地耦合到贮存器的喷嘴结构。
贮存器配置供应系统目标材料目标形成喷嘴结构孔口等离子体形成位置控制系统形成单元耦合到流体光源半导体器件制造等离子体状态多个目标接收目标选择目标发射紫外线制造

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