[实用新型]一种薄膜蒸镀装置有效
| 申请号： | 201822175552.2 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN209722277U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李克松;刘君;傅本艳 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄志华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种薄膜蒸镀装置，包括用于蒸镀的蒸发室，包括蒸发室本体；支架，用于支持所述蒸发室；用于放置蒸发皿的台体；驱动装置，用于驱动所述台体相对所述蒸发室上下滑动，使所述所述台体与所述蒸发室本体密封连接或离开所述蒸发室本体，以放置或取出所述蒸发皿。在上述的技术方案中，通过设置用于带动上述台体相对上述蒸发室滑动的驱动装置，使设置有至少一个蒸发皿的台体可相对上述蒸发室滑动，从而方便将用于蒸镀的原料放置在上述至少一个蒸发皿内，进而方便将用于蒸镀的原料放置在蒸发室内。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发室 台体 蒸发皿 蒸镀 驱动装置 滑动 薄膜蒸镀装置 本实用新型 密封连接 上下滑动 支架 蒸发 取出 驱动 室内 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜蒸镀装置，其特征在于，包括：/n用于蒸镀的蒸发室，包括蒸发室本体；/n与蒸发室本体连接的真空泵和真空检测装置；/n支架，用于支持所述蒸发室；/n用于放置蒸发皿的台体；/n驱动装置，用于驱动所述台体相对所述蒸发室上下滑动，使所述台体与所述蒸发室本体密封连接或离开所述蒸发室本体，以放置或取出所述蒸发皿。/n
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