[实用新型]精密双面研磨机上定盘调心机构有效
| 申请号： | 201822158377.6 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN209408213U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;傅林坚;周锋;曹建伟;卢嘉彬;王旭东;严浩;刘文涛 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及研磨/抛光机的结构领域，具体涉及一种精密双面研磨机上定盘调心机构。包括上定盘、气缸与十字铰链；十字铰链通过上盘支撑杆设于上定盘上端面，十字铰链中心通过调心内圈销轴固设有轴承座；轴承座内装设有轴承，连接轴装设于轴承内；连接轴顶端通过称重传感器连接上盘固定杆，称重传感器可采用常见市售产品。上盘固定杆顶部连接气缸的活塞杆。本实用新型装置可以承受轴向载荷、径向载荷和轴向与径向同时存在的联合负载，从而实现上定盘的调心能力和受力均匀，保证了上定盘与下定盘工作面柔性连接，从而使两工作面完全贴合，进而保证加工工件的平面度与平行度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 上定盘 十字铰链 上盘 本实用新型 称重传感器 调心机构 双面研磨 连接轴 轴承座 调心 定盘 气缸 轴承 精密 固定杆顶部 平行度要求 加工工件 结构领域 径向载荷 柔性连接 受力均匀 轴向载荷 研磨 固定杆 活塞杆 抛光机 平面度 上端面 下定盘 支撑杆 内圈 内装 贴合 销轴 轴向 装设 保证 联合 | ||
【主权项】：
1.一种精密双面研磨机上定盘调心机构，其特征在于，包括上定盘、气缸与十字铰链；所述十字铰链通过上盘支撑杆设于上定盘上端面，十字铰链中心通过调心内圈销轴固设有轴承座；轴承座内装设有轴承，连接轴装设于轴承内；连接轴顶端通过称重传感器连接上盘固定杆，上盘固定杆顶部连接气缸的活塞杆。
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- 付业民;郭寂波 - 深圳市劲升迪龙科技发展有限公司
- 2018-09-25 - 2019-05-21 - B24B37/005
- 本实用新型公开了一种用于芯片条研磨的加料装置，包括皮带尺、限位板、支撑板、控制面板和旋转轴，所述支撑板内部的两侧皆设有旋转轴，所述支撑板的外侧壁上安装有控制面板，控制面板两侧支撑板外壁的两端皆固定有接触板，所述接触板远离支撑板一侧的表面皆安装有支撑架，所述电机的输出端通过联轴器固定有转轴，挡板内部的支撑板顶端设有皮带尺，所述皮带尺的顶端固定有等间距的底板，底板顶端的两侧皆安装有限位板，所述限位板两侧的底板顶端皆固定有第一单向伸缩杆，所述限位板之间的底板顶端安装有推块。本实用新型不仅扩大了加料装置的使用范围，提高了加料装置的实用性，而且提高了加料装置的实用性。
- 一种多维光纤研磨系统-201910163892.X
- 魏勇;赵晓玲;张楷;吴萍;胡江西;苏于东 - 重庆三峡学院
- 2019-03-05 - 2019-05-14 - B24B37/005
- 本发明属于光纤研磨领域，主要涉及一种多维光纤研磨系统，包括：电控三维位移台、电控转动机构、光纤夹持装置、冷凝装置、冷凝介质添加器、光纤研磨机、光纤端面监视装置、计算机，通过冷凝装置对光纤夹持装置内部的液体制冷凝固，使得光纤整体被液体密封能够有效的防止在研磨过程中因为夹持不牢固所导致的光纤断裂或磨损的情况，利用计算机调节电控三维位移台使得光纤能够在光纤研磨盘上实现X、Y、Z方向上的三维平动，通过计算机可调节电控转动机构使光纤端面相对光纤研磨盘面转动，并在研磨过程中通过光纤端面监视装置对研磨过程进行实时的精密监测以制备出多种端面结构的光纤耦合器，进而提高光纤耦合器的效率或用于特种光纤传感。
- 一种在线检测研磨垫使用周期的装置及检测方法-201611214492.X
- 戴文俊 - 上海集成电路研发中心有限公司
- 2016-12-23 - 2019-04-23 - B24B37/005
- 本发明公开了一种在线检测研磨垫使用周期的装置及检测方法，利用声波在不同介质中传输速度的差异来具体量化研磨垫的使用寿命，通过超声波检测方式对研磨垫进行厚度测量，可得到当前研磨垫的厚度准确数据，从而能够实时检测研磨垫的磨损情况，使研磨垫得到充分的利用；本发明具有客观、直接确认研磨垫使用周期的优点。
- 加工装置-201821204209.X
- 冈本典彦 - 东京毅力科创株式会社
- 2018-07-27 - 2019-04-23 - B24B37/005
- 本实用新型提供一种能够准确地测量研磨载荷、对晶圆进行期望的加工的加工装置。其具有：多个卡盘，其用于保持基板；以及至少1个加工轴；在所述加工装置中，所述加工轴包括：加工部，其对所述基板进行加工；电动机，其使所述加工部旋转；电动机保持部，其保持所述电动机；以及升降机构，其使所述电动机保持部升降；所述电动机保持部由用于安装所述电动机的环部以及包围所述电动机的周围并与所述升降机构的升降轴相连接的罩体形成；在所述电动机和所述环部之间设置有用于调整所述电动机的倾斜状态的倾动机构以及至少3个载荷传感器S。
- 专利分类
