[实用新型]一种充气均匀的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201821803109.9 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN209194038U | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李亚洲 | 申请（专利权）人： | 理念光电（湖北）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 42226 | 代理人： | 姜荣华 |
| 地址： | 443200 湖北省宜昌*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种充气均匀的真空镀膜装置，包括镀膜箱，镀膜箱内底部设有蒸发源，顶部通过连接装置连接镀膜伞架，镀膜箱通过抽气管与真空泵连接，所述镀膜箱设有进气管，进气管上设有阀门，镀膜箱内设有下端开口的匀气罩，匀气罩上设有透气孔，匀气罩顶部设有供连接装置穿过的通孔，匀气罩顶部和镀膜箱之间设有伸缩装置。该装置使滤光片镀膜完成后充气的过程中，气流均匀进入镀膜箱，提高镀膜产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜箱 匀气 镀膜 充气 真空镀膜装置 连接装置 进气管 罩顶部 本实用新型 真空泵连接 镀膜产品 镀膜伞架 气流均匀 伸缩装置 下端开口 抽气管 滤光片 透气孔 蒸发源 阀门 通孔 合格率 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种充气均匀的真空镀膜装置，包括镀膜箱（1），镀膜箱（1）内底部设有蒸发源（2），顶部通过连接装置（3）连接镀膜伞架（4），镀膜箱（1）通过抽气管（5）与真空泵（6）连接，其特征在于：所述镀膜箱（1）设有进气管（7），进气管（7）上设有阀门（8），镀膜箱（1）内设有下端开口的匀气罩（9），匀气罩（9）上设有透气孔，匀气罩（9）顶部设有供连接装置（3）穿过的通孔，匀气罩（9）顶部和镀膜箱（1）之间设有伸缩装置（10）。
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