[实用新型]非均匀膜层产品的镀膜设备有效
| 申请号： | 201821709021.0 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN208949402U | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 徐佳霖;龙家勇;李景薇 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 占丽君 |
| 地址： | 100176 北京市亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种非均匀膜层产品的镀膜设备，包括封闭的外壳，在外壳内安装有多个工艺腔室和多个分子泵，每一工艺腔室下方均布置有n个传送辊，其中n≥2，每一工艺腔室均设置有对应的电机，每一工艺腔室下方的n个传送辊均共用各自对应的电机驱动。采用上述结构，使每一层膜对应的传送辊组可以独立调整，结合控制系统对镀膜基材的位置精准控制，并根据设定好的各个电机的速度曲线，控制基材经过每一工艺腔室时的速度，使得镀制的膜层厚度出现可控的变化，从而提供了一种可连续大面积生产的非均匀膜层产品的镀膜设备，具有构思巧妙、结构简单、改造容易和改造成本低等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺腔室 膜层 镀膜设备 非均匀 传送辊 电机 本实用新型 传送辊组 电机驱动 独立调整 镀膜基材 控制系统 速度曲线 位置精准 分子泵 可控的 镀制 基材 改造 封闭 生产 | ||
【主权项】：
1.一种非均匀膜层产品的镀膜设备，包括封闭的外壳，在所述外壳内安装有多个工艺腔室和多个分子泵，每一工艺腔室下方均布置有n个传送辊，其中n≥2，其特征在于：每一工艺腔室均设置有对应的电机，每一工艺腔室下方的n个传送辊均共用各自对应的电机驱动。
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