[实用新型]搁架、承载盘、托盘、缓冲腔、装载腔及基片传输系统

摘要

本实用新型涉及一种搁架、承载盘、托盘、缓冲腔、装载腔及基片传输系统，其中，基片传输系统包括缓冲腔、装载腔、第一机械手和第二机械手，缓冲腔中包括的每个第一搁架还用于承放多个承载盘。第一机械手用于将多个基片装载在第一搁架的每个承载盘上，第二机械手用于将多个承载盘从第一搁架上取出并装载在第二搁架的托盘上，装载腔中包括的多个第二搁架用于承放多个上述的托盘。本实用新型的基片传输系统成本低，能够缩短整个工艺时间，加快生产节拍，满足大尺寸、快节拍生产的MOCVD系统的大产能和高效率的需求。

主权项

1.一种搁架，其特征在于，包括支架和驱动装置，所述支架包括N个相互平行的支撑柱(1)以及两个连接板；所述N个相互平行的支撑柱(1)的两端分别通过所述连接板连接，组成具有N边形截面的容置空间，所述N为大于等于3的正整数；所述支架还包括至少一组支撑结构，每组所述支撑结构用于承载一个盘状物；所述驱动装置与所述连接板传动连接，所述驱动装置用于驱动所述支架转动。