[实用新型]一种辅助硬通孔掩膜版和样品进行精确对准的装置

摘要

本实用新型属于薄膜材料技术领域，具体为一种辅助硬通孔掩膜版和样品进行精确对准的装置。装置包括：样品托盘、载物圆盘、掩膜版吸附头、位移调节装置，显微镜等；其中，载物圆盘具有旋转调整自由度，载物圆盘旋转带动样品托盘旋转，从而精确控制样品旋转角度；位移调节装置具有X、Y、Z三轴的旋转和水平调整自由度；通过位移调节装置可以精确调整通孔硬掩膜版的位置；本整个装置结构简单，操作方便，对准精度高，具有很强的实用性。在一定程度上替代了光刻的功能，避免了光刻过程中光刻胶对样品产生影响，非常适合有机材料或者二维材料（石墨烯等）等薄膜材料的器件加工。

主权项

1.一种辅助硬通孔掩膜版和样品进行精确对准的装置，其特征在于，包括：样品托盘（1），载物圆盘（3），载物圆盘夹具（2），掩膜版吸附头（5），位移调节装置（6），显微镜（7）；其中，样品托盘（1）用于装载样品；样品托盘（1）通过载物圆盘夹具（2）同轴固定于载物圆盘（3）上；样品固定在样品托盘（1）上；载物圆盘（3）具有旋转调整自由度，载物圆盘（3）旋转带动样品托盘（1）旋转，从而精确控制样品旋转角度；位移调节装置（6）具有X、Y、Z三轴的旋转和水平调整自由度；位移调节装置（6）有一伸出臂，掩膜版吸附头（5）固定在伸出臂上，通孔硬掩膜版（4）放置于掩膜版吸附头（5）底部，掩膜版吸附头（5）底部设有小孔，可以在外部泵机抽力的作用下吸附住通孔硬掩膜版（4）；通过位移调节装置（6），可以精确调整通孔硬掩膜版（4）的位置；载物圆盘（3）和位移调节装置（6）固定在同一水平板上。