[实用新型]用于光刻机系统的在线检测装置有效
| 申请号： | 201820656769.2 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN208207508U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 苏佳妮;齐月静;卢增雄;杨光华;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 郎志涛 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机性能参数的检测技术领域，具体涉及一种用于光刻机系统的在线检测装置。本实用新型旨在解决投影物镜在安装前后检测到的数值孔径存在差异的技术问题。为此目的，本实用新型提供了一种用于光刻机系统的在线检测装置，该在线检测装置包括能够设置于掩模台上的散射元件、能够设置于工件台上的数值孔径测量装置，光源经散射元件的散射光束覆盖投影物镜并通过投影物镜投影在数值孔径测量装置上，数值孔径测量装置能够根据散射光束投影在数值孔径测量装置上的投影光束检测投影物镜的数值孔径。本实用新型的在线检测装置能够对安装完成后的投影物镜的数值孔径进行原位在线、快速测量，从而提高投影物镜的数值孔径检测准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 在线检测装置 投影物镜 数值孔径测量 本实用新型 数值孔径 光刻机 散射光束 散射元件 检测 检测技术领域 投影物镜投影 快速测量 投影光束 性能参数 掩模 光源 投影 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于光刻机系统的在线检测装置，所述光刻机系统包括光源、投影物镜、设置于所述投影物镜的物面处的掩模台、设置于所述投影物镜的像面处的工件台，其特征在于，所述在线检测装置包括能够设置于所述掩模台上的散射元件、能够设置于所述工件台上的数值孔径测量装置，所述光源经过所述散射元件的散射光束覆盖所述投影物镜并通过所述投影物镜投影在所述数值孔径测量装置上，所述数值孔径测量装置能够根据所述散射光束投影在所述数值孔径测量装置上的投影光束检测所述投影物镜的数值孔径。
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