[实用新型]一种硅芯安装装置、硅芯组件和还原炉有效
申请号: | 201820241738.0 | 申请日: | 2018-02-11 |
公开(公告)号: | CN207918446U | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 徐兰 | 申请(专利权)人: | 徐兰 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610043 四川省成都市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种硅芯安装装置,其包括安装座,安装座开设有用于安装硅芯的至少两个单元安装槽,单元安装槽在第一方向上从安装座的第一端向第二端延伸,单元安装槽在第二方向上从安装座的中间位置向边缘位置延伸。一种硅芯组件,其包括硅芯以及上述硅芯安装装置,硅芯安装于硅芯安装装置。一种还原炉,其包括钟罩、底盘以及上述硅芯组件,硅芯组件安装于底盘。每个单元安装槽内安装独立的硅芯,一个安装座安装至少两个硅芯,增加了单个安装座上与原料气发生化学反应的硅芯的表面积。 | ||
搜索关键词: | 硅芯 安装座 硅芯安装装置 单元安装 还原炉 底盘 化学反应 边缘位置 单个安装 组件安装 第一端 原料气 延伸 钟罩 | ||
【主权项】:
1.一种硅芯安装装置,其特征在于,其包括安装座,所述安装座开设有用于安装硅芯的至少两个单元安装槽,所述单元安装槽在第一方向上从所述安装座的第一端向第二端延伸,所述单元安装槽在第二方向上从所述安装座的中间位置向边缘位置延伸。
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