[实用新型]一种硅芯安装装置、硅芯组件和还原炉有效
| 申请号： | 201820241738.0 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN207918446U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 徐兰 | 申请（专利权）人： | 徐兰 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610043 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅芯 安装座 硅芯安装装置 单元安装 还原炉 底盘 化学反应 边缘位置 单个安装 组件安装 第一端 原料气 延伸 钟罩 | ||
1.一种硅芯安装装置，其特征在于，其包括安装座，所述安装座开设有用于安装硅芯的至少两个单元安装槽，所述单元安装槽在第一方向上从所述安装座的第一端向第二端延伸，所述单元安装槽在第二方向上从所述安装座的中间位置向边缘位置延伸。
2.根据权利要求1所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述单元安装槽在所述第一方向和所述第二方向分别贯穿所述安装座，所述单元安装槽将所述安装座划分为至少两个安装块。
3.根据权利要求1所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述单元安装槽在所述第一方向上未贯穿所述安装座，或者所述单元安装槽在所述第二方向上未贯穿所述安装座。
4.根据权利要求2所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述安装块的横截面形状是扇形，或者所述安装块的横截面形状是圆环的一部分。
5.根据权利要求1所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述单元安装槽沿所述安装座的周向方向均匀设置。
6.根据权利要求1所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述单元安装槽在靠近所述安装座中间的位置组合在一起，所述单元安装槽在远离所述安装座中间的位置分开。
7.根据权利要求1所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述单元安装槽的横截面形状是圆形、椭圆形、三角形、矩形或多边形。
8.根据权利要求1所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述安装装置还包括与电极配合的基座，所述安装座安装于所述基座。
9.根据权利要求8所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述安装装置还包括紧固件，所述紧固件分别与所述安装座和所述基座配合。
10.根据权利要求2所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述安装装置还包括连接至所述安装块的底板。
11.根据权利要求10所述的硅芯安装装置，其特征在于，每个所述安装块连接至独立的所述底板。
12.根据权利要求10所述的硅芯安装装置，其特征在于，至少一部分所述安装块共用一个所述底板。
13.根据权利要求8所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述基座开设有与外界连通的排气孔。
14.根据权利要求12所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述底板设有与所述单元安装槽连通的第一排气孔；所述安装装置还包括与电极配合的基座，所述安装座安装于所述基座，所述基座开设有与所述第一排气孔连通的第二排气孔。
15.根据权利要求1所述的硅芯安装装置，其特征在于，所述安装座开设有至少三个所述单元安装槽。
16.一种硅芯组件，其特征在于，其包括硅芯以及权利要求1-15任一项所述的硅芯安装装置，所述硅芯安装于所述硅芯安装装置。
17.一种还原炉，其特征在于，其包括钟罩、底盘以及权利要求16所述的硅芯组件，所述硅芯组件通过所述硅芯安装装置安装于所述底盘的电极上。
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