[实用新型]一种硅芯安装装置、硅芯组件和还原炉

说明书

一种硅芯安装装置，其包括安装座，安装座开设有用于安装硅芯的至少两个单元安装槽，单元安装槽在第一方向上从安装座的第一端向第二端延伸，单元安装槽在第二方向上从安装座的中间位置向边缘位置延伸。一种硅芯组件，其包括硅芯以及上述硅芯安装装置，硅芯安装于硅芯安装装置。一种还原炉，其包括钟罩、底盘以及上述硅芯组件，硅芯组件安装于底盘。每个单元安装槽内安装独立的硅芯，一个安装座安装至少两个硅芯，增加了单个安装座上与原料气发生化学反应的硅芯的表面积。

技术领域

本实用新型涉及晶体硅还原炉领域，具体而言，涉及一种硅芯安装装置、硅芯组件和还原炉。

背景技术

晶体硅是制备半导体和光伏电池的原材料。改良西门子法和SiH₄法是国际上生产晶体硅的主流技术。还原炉内的反应气体在炽热的硅芯表面发生化学气相沉积反应生成晶体硅。生产实际所用的硅芯普遍为单根硅芯，现有技术中安装装置用于安装单根硅芯。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅芯安装装置，其能够安装多根硅芯。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种硅芯安装装置，其包括安装座，所述安装座开设有用于安装硅芯的至少两个单元安装槽，所述单元安装槽在第一方向上从所述安装座的第一端向第二端延伸，所述单元安装槽在第二方向上从所述安装座的中间位置向边缘位置延伸。

一种硅芯组件，其包括硅芯以及上述硅芯安装装置，所述硅芯安装于所述硅芯安装装置。

一种还原炉，其包括钟罩、底盘以及上述硅芯组件，所述硅芯组件通过所述硅芯安装装置安装于所述底盘的电极上。

本实用新型实施例的有益效果是：本实用新型硅芯安装装置包括安装座，安装座开设有用于安装硅芯的至少两个单元安装槽，每个单元安装槽内安装独立的硅芯，一个安装座安装至少两个硅芯，增加了单个安装座上与原料气发生化学反应的硅芯的表面积。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型第一实施例中硅芯安装装置的立体示意图；

图2为本实用新型第一实施例中硅芯安装装置的分解示意图；

图3为图1的俯视图；

图4为图1沿A-A的剖面图；

图5为本实用新型第三实施例中硅芯安装装置开设两个单元安装槽的一个立体示意图；

图6为本实用新型第三实施例中硅芯安装装置开设两个单元安装槽的另一个立体示意图；

图7为本实用新型第三实施例中硅芯安装装置开设四个单元安装槽的立体示意图；

图8为本实用新型第三实施例中硅芯安装装置开设五个单元安装槽的立体示意图；

图9为本实用新型第三实施例中硅芯安装装置开设六个单元安装槽的立体示意图；

图10为本实用新型第四实施例中硅芯安装装置的立体示意图；

图11为本实用新型第五实施例中硅芯安装装置的一个立体示意图；

图12为本实用新型第五实施例中硅芯安装装置的另一个立体示意图；

图13为本实用新型中硅芯组件的立体示意图；

图14为本实用新型中还原炉的部分截面示意图；