[发明专利]一种应用于三维霍尔传感器的霍尔器件及其方法在审
| 申请号： | 201811323932.4 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109270476A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 魏榕山;杜宇轩;刘莉莉 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | G01R33/07 | 分类号： | G01R33/07;G01R33/02 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省福州市闽*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种应用于三维霍尔传感器的霍尔器件，其特征在于：所述霍尔器件为完全对称的两个十字结构的深N阱；所述十字结构的深N阱的四个端和中心分别设置有重掺杂的N+区层，所述四个端点重掺杂的N+区层与中心重掺杂的N+区层之间均设置有高掺杂的P+区层。本发明采用高压CMOS工艺制备，具备了较深的N阱，提高了器件的灵敏度，在时序的控制下，可分时对三个轴向上的磁感应强度进行侦测，相比于分立式的三维霍尔器件，大大减小了版图面积。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔器件 重掺杂 三维 霍尔传感器 十字结构 深N阱 时序 高压CMOS 工艺制备 灵敏度 磁感应 高掺杂 可分时 减小 侦测 应用 对称 | ||
【主权项】：
1.一种应用于三维霍尔传感器的霍尔器件，其特征在于：所述霍尔器件为完全对称的两个十字结构的深N阱；所述十字结构的深N阱的四个端和中心分别设置有重掺杂的N+区层，所述四个端点重掺杂的N+区层与中心重掺杂的N+区层之间均设置有高掺杂的P+区层。
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- 唐臻宇;王佶 - 成都太微电子科技有限公司
- 2018-08-13 - 2019-05-10 - G01R33/07
- 本实用新型公开了一种基于旋转磁场位移测量的装置以及高度仪和卡尺，包括：齿条、齿轮、磁体、处理器、至少两个磁敏元件和角度检测单元；齿轮与齿条啮合，齿轮带动磁体同步转动；磁敏元件监测磁体磁极变化，并输出表征磁极变化的次数的信号；角度检测单元用于监测磁体磁极变化的绝对角度，并输出表征磁极变化的绝对角度的信号；处理器根据磁极变化的次数的信号、磁极变化的绝对角度的信号以及齿轮分度圆周长，计算出齿轮在齿条上的位移大小。与现有技术相比，使用该方法使电子测量仪器不易受到测量环境中污染物(如水、油、尘埃等)的影响，同时，与采用电容、电感测量方法的电子测量仪器相比，其响应速度快，测量稳定性更好，测量精度更高。
- 一种霍尔效应的测量方法及装置-201910157243.9
- 潘飞蹊;罗洪亮 - 深圳市信瑞达电力设备有限公司
- 2019-03-01 - 2019-04-23 - G01R33/07
- 本发明提供了一种测量霍尔效应的方法及装置，适用于磁场测量、电流测量，涉及电子电路领域。该测量方法包括：用电子开关组对霍尔元件、霍尔元件所需的激励源以及后级放大器进行连接；霍尔元件检测所置环境的磁感应强度；通过调节所述电子开关组的状态，改变电路的拓扑连接关系，所述后级放大器可以得到不同的输出量；选取两个或两个以上的所述后级放大器的输出量，用一个广义求和电路进行运算，不仅可以有效消除(或减小)所述霍尔元件中失调信号的影响，也可以同时消除所述后级放大器中失调信号的影响。该方法可以提高相关测量的精度及稳定性。
- 一种用于测量聚磁介质感应磁场的试验装置-201710887944.9
- 李文博;韩跃新;徐瑞清 - 东北大学
- 2017-09-27 - 2019-04-05 - G01R33/07
- 一种用于测量聚磁介质感应磁场的试验装置，属于高梯度磁选技术领域，所述试验装置主要由高斯计探头、固定支架、螺纹推杆、尺板、介质卡板、介质模型及磁极头部分组成，使用时首先将需要测量的介质模型固定在固定支架下部的两个彼此平行的介质卡板之间，再将其固定在激磁设备两个磁极头之间，然后通过探头移动装置精确定向移动高斯计探头，或者通过介质卡板上的定位孔轴向移动介质模型，以此完成特定路径上磁场强度的测量。此装置将需测量的介质模型等比例放大，以此克服难以狭小位移空间磁场测量的困难，且能提供较好的测量精度。
- 用于检测二维平面内磁场的垂直霍尔效应传感器-201810999441.5
- 凯特·瑞安·格伦;拜伦·乔恩·罗德里克·沙尔弗;尤里·米尔戈罗德斯基 - 德州仪器公司
- 2018-08-30 - 2019-03-26 - G01R33/07
- 本公开涉及一种用于检测二维平面内磁场的垂直霍尔效应传感器。在一个实施方案中，所述公开的微电子装置(100)包含垂直霍尔板(108)，其具有十字形上部终端(110)和包含埋层(118)的下部终端。所述十字形上部终端(110)在其中接触所述垂直霍尔板(108)之处具有5比12的长宽比。所述长度是从所述十字形上部终端(110)的一个臂的一端到相对臂的相对端测量的。所述宽度是两个臂的平均宽度。霍尔感测分接头(122)位于所述十字形上部终端(110)外。电流返回区域(120)连接到所述埋层(118)。
- 基于亥姆霍兹线圈的矢量闭环补偿式三轴磁场传感器探头-201811481757.1
- 谭超;杨哲;龚晓辉;乐周美;王家成;李宗燎 - 三峡大学
- 2018-12-05 - 2019-03-12 - G01R33/07
- 基于亥姆霍兹线圈的矢量闭环补偿式三轴磁场传感器探头，包括敏感元件、反馈元件、信号调理电路、激励电路、V/I转换电路。所述敏感元件包括三个相同的磁敏传感器：X轴方向的磁敏传感器、Y轴方向的磁敏传感器、Z轴方向的磁敏传感器；所述反馈元件为一个三维亥姆霍兹线圈结构，该结构由三对两两正交的亥姆霍兹线圈组成，三对亥姆霍兹线圈分别与三个磁敏传感器相对应；所述三个磁敏传感器信号输出端分别连接三个信号调理电路，信号调理电路连接激励电路，信号调理电路的输出端分别经V/I转换电路转换后连接到所述三维亥姆霍兹线圈结构的三对亥姆霍兹线圈的引出导线，构成闭环回路。本发明探头能够在最大程度上降低交叉影响，提高传感器精度。
- 磁钢高斯量检测装置及方法-201811305863.4
- 张泽喜;杜保珠;赵荣林 - 镇江苏润电子科技有限公司
- 2018-11-05 - 2019-02-15 - G01R33/07
- 本发明公开了一种磁钢高斯量自动检测装置，包括工作台、基座、底座、磁钢垂直输送机构、感应板、磁钢推出机构、高斯量检测仪和感应探头，高斯量检测仪固定在工作台后部上，基座通过其下侧的底座固定在工作台前部上，磁钢推出机构设置在基座的中后部，磁钢输送机构垂直固定在基座的中部上，感应探头检测端与基座中的感应板连接，感应探头输出端通过和高斯量检测仪连接。本发明的方法包括：1）设定高斯量检测仪高斯量的上下限值；2）将磁钢柱插进支承筒内孔中；3）检测结果合格，则磁钢推出机构推出磁钢；不合格，磁钢推出机构不动作。本发明结构紧凑、工效高，提高了磁钢表面磁场强度检测的准确性。检测效率大大提高，检测成本降低显著。
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