[发明专利]一种薄膜厚度检测方法

摘要

本发明属于薄膜测量技术领域，具体的说是一种薄膜厚度检测方法，该方法包括以下步骤：S1，将待检测的薄膜固定在薄膜厚度检测仪上；S2，启动S1中的薄膜厚度检测仪对薄膜的厚度进行检测；S3，S2中检测完成后，对检测后的薄膜进行加热，并利用温度传感器对薄膜的温度进行检测，当薄膜的整体周围环境温度达到预设值时，再次对薄膜的厚度进行检测；S4，改变薄膜的温度，测量多组薄膜在不同温度下的厚度。本方法通过采用薄膜厚度检测仪实现对薄膜厚度的测量，且通过改变薄膜周围整体的温度，实现在不同温度下对薄膜厚度的测量，从而便于研究薄膜受温度的影响规律。

主权项

1.一种薄膜厚度检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：S1，将待检测的薄膜固定在薄膜厚度检测仪上；S2，启动S1中的薄膜厚度检测仪对薄膜的厚度进行检测；S3，S2中检测完成后，对检测后的薄膜进行加热，并利用温度传感器对薄膜的温度进行检测，当薄膜的整体周围环境温度达到预设值时，再次对薄膜的厚度进行检测；S4，改变薄膜的温度，测量多组薄膜在不同温度下的厚度；本方法中采用的薄膜厚度检测仪包括机罩(1)，用于支撑所述机罩(1)的所述底座(17)顶部设置两条第一滑槽(14)，两条所述第一滑槽(14)之间设置两条第二滑槽(16)，所述第一滑槽(14)内部安装有固定薄膜的第一固定机构(13)和第二固定机构(15)，所述第一固定机构(13)与所述第二固定机构(15)之间通过螺丝杆(32)连接，且所述螺丝杆(32)一端安装从动轮(33)，所述从动轮(33)与主动轮(34)啮合，所述主动轮(34)安装在电动机(35)的输出端；所述底座(17)一侧设置机罩(1)，所述机罩(1)一侧安装有用于保护内部结构的第一防护板(3)，所述机罩(1)另一侧安装有用于保护内部结构的第二防护板(4)，所述第二防护板(4)侧壁安装铭牌(5)，所述机罩(1)侧壁设置显示屏(2)，所述显示屏(2)下方设置调节按钮(9)，所述调节按钮(9)一侧设置功能按钮(8)，所述机罩(1)底部安装伸缩杆(10)，所述伸缩杆(10)一端安装压盘(11)，所述压盘(11)底部与底座(17)顶部均设置激光传感器(12)。