[发明专利]一种用于阴极电弧沉积的复合靶及沉积方法有效
| 申请号： | 201811082024.0 | 申请日： | 2018-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN109055900B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 陈仁德;左潇;汪爱英;张栋;柯培玲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于阴极电弧沉积的复合靶及沉积方法。复合靶由多种不同材质的靶材组成，并且各靶材形成同轴套接的平面结构。通过控制阴极电弧源磁场分布，使弧斑处于指定靶材的靶面，能够在基体表面沉积该指定靶材，因此利用该复合靶能够进行靶材元素的选择性沉积，实现多成分、多结构涂层的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 阴极 电弧 沉积 复合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于阴极电弧沉积的复合靶，其特征是：所述复合靶由m种靶材组成，m≥2，并且每种靶材的材质不同；以第1种靶材为中心靶材，第n种靶材同轴套接在第n‑1种靶材外围，其中2≤n≤m。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811082024.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
