[发明专利]半导体型气体传感器、多重传感装置及其识别方法在审
| 申请号： | 201810968425.X | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110857928A | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 柳民;金世奎;孔正植 | 申请（专利权）人： | 吉福有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种半导体型气体传感器、多重传感装置以及该多重传感装置的识别方法。该半导体型气体传感器包括：基板；电极，以规定的图案形成于基板的上表面；气体检测膜，具备规定的厚度，并包覆电极的外部裸露面；以及加热器，紧贴于基板的下表面，以规定的温度加热气体检测膜，气体检测膜为，在形成有非晶层的SnO |
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| 搜索关键词： | 半导体 气体 传感器 多重 传感 装置 及其 识别 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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