[发明专利]带有芯片供给机构的工件贴装装置及方法有效
申请号: | 201810853729.1 | 申请日: | 2018-07-30 |
公开(公告)号: | CN108962795B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 唐亮;郝术壮;张景瑞;丁晨阳 | 申请(专利权)人: | 唐人制造(宁波)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人: | 赵永刚 |
地址: | 315000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种带有芯片供给机构的工件贴装装置,包括:基板承载机构,固定基板并带动基板在与基板表面平行的第一平面上运动,在第一平面上的运动行程不小于基板在第一平面上的尺寸;芯片供给机构,从工件贴装装置的芯片交接位置获取并固定芯片,并将芯片运送至芯片供给位置;芯片键合机构,在芯片供给位置拾取芯片,并在贴片工作区域位置将芯片贴装在基板的预定贴片位上;所述芯片供给机构包括第一传输机构、第一传输轨道、第二传输机构和第二传输轨道,第一传输轨道和第二传输轨道位于芯片交接位置和芯片供给位置之间;第一传输机构和第二传输机构沿第一传输轨道和第二传输轨道往复运动,交替从芯片交接位置获取芯片并在芯片供给位置提供芯片。 | ||
搜索关键词: | 带有 芯片 供给 机构 工件 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种带有芯片供给机构的工件贴装装置,包括:基板承载机构,所述基板承载机构固定基板,并带动基板在与基板表面平行的第一平面上运动,在第一平面上的运动行程不小于基板在第一平面上的尺寸;芯片供给机构,所述芯片供给机构从所述工件贴装装置的芯片交接位置获取并固定芯片,并将芯片运送至芯片供给位置;芯片键合机构,所述芯片键合机构在所述芯片供给位置拾取芯片,并在贴片工作区域位置将芯片贴装在所述基板的预定贴片位上;其特征在于,所述芯片供给机构包括第一传输机构、第一传输轨道、第二传输机构和第二传输轨道,其中,所述第一传输轨道和所述第二传输轨道位于所述芯片交接位置和所述芯片供给位置之间;所述第一传输机构和所述第二传输机构沿所述第一传输轨道和所述第二传输轨道往复运动,交替从所述芯片交接位置获取芯片并在芯片供给位置提供芯片;所述第一传输机构包括第一传动机构和第一载片机构,所述第一传动机构承载所述第一载片机构并沿所述第一传输轨道产生位移,所述第一载片机构用于承载芯片;所述第二传输机构包括第二传动机构和第二载片机构,所述第二传动机构承载所述第二载片机构并沿所述第二传输轨道产生位移,所述第二载片机构用于承载芯片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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