[发明专利]悬臂式双台面的双面曝光机及双面曝光方法有效
| 申请号： | 201810836042.7 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN108873621B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 汪孝军;廖平强;张胜 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘培培 |
| 地址： | 528437 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种悬臂式双台面的双面曝光机及双面曝光方法，包括安装架；分别设于安装架两侧的第一曝光组件和第二曝光组件；第一装载台和第二装载台；及驱动机构，驱动机构包括驱动组件，第一装载台和第二装载台分别在第一运动状态和第二运动状态通过曝光区。当曝光时，第一装载台以第一循环轨迹运动、并在第一运动状态时通过曝光区、以对第一待曝光件进行曝光，而第二装载台以第二循环轨迹运动、并在第二运动状态时通过曝光区、以对第二待曝光件进行曝光，第一装载台和第二装载台均循环运动，且第二待曝光件曝光时还能进行第一曝光成品的卸载或下一个第一待曝光件的装载，曝光效率更高，相比传统采用翻转双面曝光的方式，曝光精度也更高。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂 台面 双面 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双面曝光机，其特征在于，包括：安装架；曝光机构，所述曝光机构包括分别设于所述安装架两侧的第一曝光组件和第二曝光组件，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件相对设置、并形成曝光区；装载机构，所述装载机构包括第一装载台和第二装载台，所述第一装载台和所述第二装载台均与所述安装架活动连接；及驱动机构，所述驱动机构包括驱动组件；所述驱动组件驱动所述第一装载台以第一循环轨迹运动、并使所述第一装载台在第一运动状态时通过所述曝光区进行曝光；所述驱动组件还驱动所述第二装载台以第二循环轨迹运动、并使所述第二装载台在第二运动状态时通过所述曝光区进行曝光。
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