[发明专利]一种自净化型显影液组合物及其制备方法及使用其的显影方法在审

专利信息
申请号: 201810784336.X 申请日: 2018-07-17
公开(公告)号: CN110727180A 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 胡冬生 申请(专利权)人: 南昌欧菲显示科技有限公司
主分类号: G03F7/32 分类号: G03F7/32
代理公司: 11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 赵天月
地址: 330013 江西省南昌*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明涉及一种显影液组合物,所述显影液组合物包括相对重量百分比如下的各组分:无机碱:85‑95%,磺酸盐型阴离子表面活性剂:2.2‑7.5%,消泡剂:2‑4%,抑制剂:0.8‑3.5%,溶剂为去离子水,无机碱的浓度为8‑12g/L。本发明提供的显影液组合物,具有显影性能好、低泡沫、自净化等特点,在触控膜制程的显影工艺中具有广泛应用。
搜索关键词: 显影液组合物 无机碱 磺酸盐型阴离子表面活性剂 重量百分比 去离子水 显影工艺 显影性能 低泡沫 消泡剂 抑制剂 自净化 溶剂 触控 膜制 应用
【主权项】:
1.一种显影液组合物,其特征在于,所述显影液组合物包括相对重量百分比如下的各组分:无机碱:85-95%,磺酸盐型阴离子表面活性剂:2.2-7.5%,消泡剂:2-4%,抑制剂:0.8-3.5%,溶剂为去离子水,无机碱的浓度为8-12g/L。/n
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