[发明专利]一种去离子水供给装置在审
| 申请号： | 201510130620.1 | 申请日： | 2015-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN104694891A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 王珏;周立刚;张敏;慕国鹏;高斌;康英男;谢晓龙;张文辉;刘哲;赵东升 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种去离子水供给装置，该装置包括去离子水容器，去离子水容器内设置有容纳去离子水的容纳腔，以及检测去离子水液面高度的第一传感器；还包括去离子水储存容器，去离子水储存容器通过带有电磁开关阀的出水管道与容纳腔连通；控制装置，控制装置在接收的第一传感器检测的去离子水液面低于设定值时，控制电磁开关阀打开，去离子水储存容器内的去离子水流入到去离子水容器。在上述技术方案中，通过采用去离子水储存容器将去离子存放起来，在添加去离子水时，去离子水容器与外界隔绝，因此，去离子水容器内的真空环境不会被破坏掉，从而保证了成膜的效率，并且极大的简化了向去离子水容器内添加去离子水的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子水 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种去离子水供给装置，其特征在于，包括去离子水容器，所述去离子水容器内设置有容纳去离子水的容纳腔，以及检测所述去离子水液面高度的第一传感器；还包括去离子水储存容器，所述去离子水储存容器通过带有电磁开关阀的出水管道与所述容纳腔连通；控制装置，所述控制装置在接收的所述第一传感器检测的去离子水液面低于设定值时，控制所述电磁开关阀打开，所述去离子水储存容器内的去离子水流入到所述去离子水容器。
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- 本发明涉及一种碲化锌靶材的制备方法，其包括如下步骤：S1、研磨制粉；S2、预压；S3、坯料制备；S4、坯料后处理。本制备方法所制备得到的碲化锌靶材在纯度、单相含量、致密度方面均可以满足薄膜制备所需碲化锌靶材的要求，由于采用粉末冶金最终成型，需要的后续加工步骤少，制备成本低，可大规模生产，工艺过程简单易控。
- 一种太阳能电池CIGS靶材的快速制备方法-201910620889.6
- 王吉林;廖和杰;郑国源;龙飞;吉钰纯;莫淑一;周炳;邹正光 - 桂林理工大学
- 2019-07-10 - 2019-10-25 - C23C14/34
- 本发明涉及一种太阳能电池CIGS靶材的快速制备方法，其包括制备铜铟镓硒四元粉，硒化亚铜粉，以及硒化铜粉，然后烧结成CIGS四元靶。首先将称量好的三种原料粉研磨，然后分别放入行星球磨机内混合12‑48h(公转300‑500转/分，公转和自转比为1：2，球磨罐材料为氧化锆内衬，球磨介质为酒精，磨球材料为ZrO2，抽真空后向腔体内充入氩气)使之合金化，随后将粉体置于放电等离子体烧结炉中(冲入氩气等惰性气体，抑制Se的挥发)烧结制备得到铜铟镓硒四元靶。本发明工艺采用SPS烧结，简单有效，相较于传统的热压及其他烧结来说，效率更高，能够做到在较低温度、短时间内快速烧结，烧结制备的的晶粒尺寸较小，在同等条件下制备得到的靶材相对密度更高，达98％以上。
- 一种平板显示溅射靶材-201822060625.3
- 卢建栋;张小伟;张扬 - 东曹（上海）电子材料有限公司
- 2018-12-08 - 2019-10-25 - C23C14/34
- 本实用新型公开了一种平板显示溅射靶材，涉及溅射靶材领域，包括背板和靶材，背板和靶材之间填充有焊料层，焊料层内嵌设有用于固定背板和靶材之间距离的定位件，定位件同时与背板和靶材抵接。针对现有技术存在靶材与背板难以确保平行的问题，本实用新型在背板和靶材之间设置定位件，使背板和靶材之间的距离保持为定位件的厚度，从而确保背板和靶材平行，有效提高产品的加工精度。
- 一种溅射靶材加热平台-201822060654.X
- 卢建栋;张小伟;张扬 - 东曹（上海）电子材料有限公司
- 2018-12-08 - 2019-10-25 - C23C14/34
- 本实用新型公开了一种溅射靶材加热平台，涉及加热平台，包括机架，机架上固定有多个加热块，加热块内插接连接有多个电热棒，多个加热块一侧抵接有多个用于加热溅射靶材的垫板，多个加热块沿垫板的长度方向设置，机架周侧固定有用于收集多余焊料的收集槽，机架于垫板的两端均固定有用于固定溅射板的固定组件。针对现有技术存在过多焊料融化后易滴落至车间内的问题，本实用新型通过在机架周侧设置收集槽，有效避免多余焊料滴落至车间内，确保车间内的卫生和清洁。
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