[发明专利]金刚线多晶硅片制绒添加剂及金刚线多晶硅片制绒刻蚀液在审

专利信息
申请号: 201810671757.1 申请日: 2018-06-26
公开(公告)号: CN110644049A 公开(公告)日: 2020-01-03
发明(设计)人: 王懿喆;易武雄;潘鼎鼎;张卫 申请(专利权)人: 上海硅洋新能源科技有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B33/10;H01L31/0236;H01L31/18
代理公司: 31297 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 邓文武
地址: 201306 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种金刚线多晶硅片制绒添加剂,以及使用该添加剂的多晶硅片制绒刻蚀液。所述金刚线多晶硅片制绒添加剂包括:低粘度低稳泡组分,高粘度高稳泡组分和去离子水;所述低粘度低稳泡组分包括草酸、酒石酸、柠檬酸、可溶性柠檬酸盐、异构醇醚和季铵盐阳离子表面活性剂;所述高粘度高稳泡组分包括聚乙二醇、聚乙二醇单甲醚、吉米奇类季铵盐阳离子表面活性剂。使用本发明提出的制绒添加剂,能够对金刚线硅片绒面微观结构进行调制处理,有效降低金刚线多晶硅片反射率,提高陷光效应,进而提高太阳能光伏转换效率,降低度电发电成本。
搜索关键词: 多晶硅片 金刚线 稳泡 制绒添加剂 季铵盐阳离子表面活性剂 低粘度 高粘度 聚乙二醇单甲醚 可溶性柠檬酸盐 草酸 柠檬酸 太阳能光伏 调制处理 发电成本 聚乙二醇 去离子水 微观结构 异构醇醚 转换效率 反射率 降低度 酒石酸 刻蚀液 硅片 绒面 陷光 制绒 添加剂
【主权项】:
1.一种金刚线多晶硅片制绒添加剂,其特征在于包括:低粘度低稳泡组分,高粘度高稳泡组分和去离子水;/n所述低粘度低稳泡组分包括草酸、酒石酸、异构醇醚、柠檬酸、可溶性柠檬酸盐和季铵盐阳离子表面活性剂中的一种或几种;/n所述高粘度高稳泡组分包括聚乙二醇、聚乙二醇单甲醚、吉米奇类季铵盐阳离子表面活性剂中的一种或几种。/n
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