[发明专利]极紫外光源产生方法在审
| 申请号： | 201810402860.6 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108803247A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 张俊霖;傅中其;刘柏村;陈立锐;郑博中;易威廷;简上杰 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种极紫外光源产生方法。一种极紫外光源，其包括配置为用以产生第一预脉冲激光光束、第二预脉冲激光光束、及主脉冲激光光束的激光光源。在一些实施例中，在极紫外光容器内使用第一预脉冲激光光束照射液滴以形成重成形液滴。在一些例子中，液滴包括锡液滴。在多种实施例中，随后通过使用第二预脉冲激光光束照射重成形液滴以形成种子等离子体。随后，且在一些例子中，使用主脉冲激光光束照射种子等离子体以加热种子等离子体，进而产生极紫外光。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲激光光束 等离子体 极紫外光源 极紫外光 成形液 主脉冲 液滴 照射 激光光束照射 激光光束 激光光源 加热种子 锡液滴 配置 | ||
【主权项】：
1.一种极紫外光源产生方法，包括：使用一第一预脉冲激光光束在一极紫外光容器中照射一液滴以形成一重成形液滴；通过使用一第二预脉冲激光光束照射该重成形液滴以形成一种子等离子体；通过使用一主脉冲激光光束照射该种子等离子体以加热该种子等离子体，进而产生极紫外光。
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