[发明专利]一种镀膜系统及其制备柔性薄膜的方法在审
| 申请号： | 201810386934.1 | 申请日： | 2018-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN108456857A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 范襄;于振海;雷刚;沈静曼;王训春;姜德鹏;石梦奇;杨洪东 | 申请（专利权）人： | 上海空间电源研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08;C23C14/12 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 贾慧琴 |
| 地址： | 200245 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜系统及其制备柔性薄膜的方法，该镀膜系统包含：真空室；用于对真空室抽真空的真空系统；有机蒸发系统，其至少包含：密闭腔体，该密闭腔体由可控阀门控制密闭状态，腔体内放置需要蒸镀的有机蒸发原料，其外部还设置有加热装置；无机蒸发系统，其至少包含：坩埚，及，坩埚挡板；离子源；及，工件盘。采用本发明的镀膜系统可进行有机/无机薄膜的交替制备，不仅有效解决了单独镀制无机薄膜存在缺陷、开裂等问题和单独镀制有机薄膜存在耐候性差、光学设计难度大等问题，而且可实现具有柔性或挠性的多功能复合薄膜制备，拓展了传统光学薄膜的应用领域，为空间、地面、海洋等领域器件的制作、封装及防护等提供一种解决途径。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜系统 制备 密闭腔体 柔性薄膜 无机薄膜 蒸发系统 镀制 坩埚 多功能复合薄膜 传统光学薄膜 真空室抽真空 挡板 光学设计 加热装置 可控阀门 密闭状态 有机薄膜 有效解决 真空系统 蒸发原料 工件盘 离子源 耐候性 真空室 挠性 蒸镀 封装 防护 体内 海洋 外部 拓展 制作 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜系统，其特征在于，该镀膜系统包含：真空室；用于对真空室抽真空的真空系统；设置于真空室内的用于蒸镀有机薄膜的有机蒸发系统，其至少包含：密闭腔体，该密闭腔体由可控阀门控制密闭状态，腔体内放置需要蒸镀的有机蒸发原料；该密闭腔体的外部还设置有加热装置，用于对腔体进行加热；设置于真空室内的用于蒸镀无机薄膜的无机蒸发系统，其至少包含：用于放置需要蒸镀的无机蒸发原料的坩埚，及，用于隔断坩埚内原料蒸镀的坩埚挡板；设置于真空室内的离子源；设置于真空室内的用于固定待镀膜衬底的工件盘。
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- 本实用新型公开了一种真空电子束对辊镀膜装置，包括电子束炉，前置真空室和后置真空室，所述前置真空室连通在电子束炉的进口端，后置真空室连通在电子束炉的出口端；所述电子束炉由至少一个工作腔组成，每个工作腔内设有至少一把电子枪；后置真空室内可转动设置至少一对对辊，镀膜后的工件从对辊中间通过。本实用新型在镀膜完成后利用对辊对工件表面进行压制，进一步提高了镀膜层与工件结合的紧密度，同时提高了镀膜层表面质量与平整度，便于进行后续加工生产。
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- 邹宇;赖奇;廖先杰;刘翘楚;肖传海;彭富昌;钟璨宇;李俊瀚;江思媛;范立男 - 攀枝花学院;成都天宇坤实机电设备有限公司
- 2018-12-04 - 2019-07-23 - C23C14/30
- 本实用新型公开了一种真空电子束连续镀膜装置，包括电子束炉、开卷机和收卷机，所述开卷机设置在电子束炉的进口端一侧，收卷机设置在电子束炉的出口端一侧；所述电子束炉由至少一个工作腔组成，每个工作腔内设有至少一把电子枪。本实用新型通过开卷机、收卷机与电子束炉进行配合，在电子束炉对金属带卷进行镀膜的同时，开卷机将金属带卷开卷后送入电子束炉，收卷机将镀膜完成的金属带卷收卷，实现对金属带卷的连续镀膜，极大增加了镀膜的效率，本实用新型结构简单、生产成本低，可广泛运用于流水线生产中。
- 基于电子束蒸发设备的自动换靶装置-201710608525.7
- 张荣生 - 无锡南理工科技发展有限公司
- 2017-07-24 - 2019-07-09 - C23C14/30
- 本发明公开了一种基于电子束蒸发设备的自动换靶装置，包括升降机构和位于真空镀膜腔内的靶容器，还包括备用靶材腔和控制单元，备用靶材腔设置在真空镀膜腔外且位于所述靶容器的下方，备用靶材腔与所述真空镀膜腔相连接，且中间设有阀门以隔离或连通；升降机构贯穿备用靶材腔、真空镀膜腔与靶容器的底部相连接；升降机构用于在进行蒸镀工艺时将靶材实时根据靶材的消耗量向上移动靶材和当消耗完一个靶材后将备用靶材腔中的靶材移动至真空镀膜腔内；备用靶材腔设有腔门，且备用靶材腔连接有真空泵和气阀；控制单元包括升降控制单元和真空控制单元；升降控制单元与升降机构相连接；真空控制单元与真空泵、机械泵和气阀相连接。
- 一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺-201910284710.4
- 陈杰锋;杨亚军 - 深圳市旺鑫精密工业有限公司
- 2019-04-10 - 2019-07-02 - C23C14/30
- 本发明公开了一种一种应用于五金表面的纳米薄涂层制作工艺，包括以下步骤：步骤一，将粒度为0.3‑0.5um的3C‑SiC粉末冷压制成圆柱状胚料；步骤二，将步骤一制得的胚料在真空热压炉中进行烧结；步骤三；将真空热压炉中烧结后的胚料进行真空干燥处理；步骤四；将第三步处理后的胚料放入电子束设备中进行真空熔炼，使胚料通过蒸发的方式沉积于金属工件上。本发明增强了涂层表面的硬度，提高了五金工件的抗刮性能。
- 一种三维锥形纳米层膜结构、制备方法及其应用-201910170123.2
- 蔡博渊;孔阿茹;石鹏;刘民航;褚宪薇;袁小聪 - 深圳大学
- 2019-03-06 - 2019-06-28 - C23C14/30
- 本发明属于新能源技术开发领域，尤其涉及一种三维锥形纳米层膜结构、制备方法及其应用。本发明提供一种三维锥形纳米层膜结构，为：二氧化硅‑二氧化铪复合层以及银层，二氧化硅层设置于二氧化铪层的上方；二氧化硅‑二氧化铪复合层的数量大于10层，银层的上方设置有二氧化硅‑二氧化铪复合层。本发明还提供了一种上述的三维锥形纳米层膜结构的制备方法，本发明还提供了一种上述三维锥形纳米层膜结构或上述的制备方法得到的产品在辐射冷却装置中的应用。本发明中，引入三维锥形纳米层膜结构，可实现高性能的双窗口大气辐射，并最终可以实现高效率的被动辐射冷却降温的能力；解决了现有技术中，日间冷却的方法存在着净辐射冷却功率较低的技术缺陷。
- 一种耐磨镜片镀膜方法-201711354747.7
- 吴晓彤 - 奥特路（漳州）光学科技有限公司
- 2017-12-15 - 2019-06-25 - C23C14/30
- 本发明涉及一种耐磨镜片镀膜方法，包括以下步骤：1）对基片进行清洗、干燥；2）分别对基片的内、外两个表面进行镀膜：分别对双面镀第一膜层、分别对双面镀第二膜层、分别对双面镀第三膜层、分别对双面镀第四膜层、分别对双面镀第五膜层和分别对双面镀第六膜层。本发明的镜片镀有多个膜层，不仅能够有效地提升清晰度、防炫目、防蓝光，而且对于视觉的清晰度和真实性有着很好的贡献，能有效缓解视觉疲劳，若干层二氧化硅层和高硬度层的设置，大大提高了镜片的耐磨性能。
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