[发明专利]加工方法

摘要

本发明提供一种加工方法，在对与切断预定线重叠地形成有包含金属的层叠体的板状的被加工物进行加工时，能够在维持加工品质的同时提高加工速度。其对在表面侧具有与切断预定线重叠地形成的包含金属的层叠体的板状的被加工物进行加工，包括：保持步骤，利用保持工作台对被加工物的表面侧进行保持；激光加工步骤，在实施保持步骤后，在被加工物的背面沿着切断预定线照射相对于被加工物具有吸收性的波长的激光束，形成未到达层叠体的激光加工槽；切削步骤，在实施激光加工步骤后，利用切削刀具对激光加工槽的底部进行切削，将被加工物与层叠体一起沿着切断预定线切断，在切削步骤中，一边对被加工物供给包含有机酸和氧化剂的切削液，一边执行切削。

主权项

1.一种加工方法，该加工方法对板状的被加工物进行加工，该板状的被加工物在表面侧具有与切断预定线重叠地形成的包含金属的层叠体，该加工方法的特征在于，该加工方法具备下述步骤：保持步骤，利用保持工作台对被加工物的表面侧进行保持；激光加工步骤，在实施该保持步骤后，在被加工物的背面沿着该切断预定线照射相对于被加工物具有吸收性的波长的激光束，形成未到达该层叠体的激光加工槽；和切削步骤，在实施该激光加工步骤后，利用切削刀具对该激光加工槽的底部进行切削，将被加工物与该层叠体一起沿着该切断预定线切断，在该切削步骤中，一边对被加工物供给包含有机酸和氧化剂的切削液，一边执行切削。