[发明专利]掩膜板及其制造方法、掩膜组件及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201810002259.8 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN107904554A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张新建;刘丽国;尹志 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜板及其制造方法、掩膜组件及蒸镀装置，属于显示技术领域。所述掩膜板包括掩膜图形区域，以及掩膜图形区域的周边区域，周边区域包括凹陷结构，且凹陷结构的凹陷方向平行于掩膜板的厚度方向。本发明解决了在将玻璃基板叠加在掩膜组件中掩膜板远离掩膜框架的一侧时，凸起于掩膜板表面的焊点容易划伤玻璃基板的问题。本发明用于制造掩模板。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 及其 制造 方法 组件 装置 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：掩膜图形区域，以及所述掩膜图形区域的周边区域，所述周边区域包括凹陷结构，且所述凹陷结构的凹陷方向平行于所述掩膜板的厚度方向。
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