[发明专利]溅射靶用背板的修补方法、修补完毕的背板和溅射靶有效
| 申请号： | 201780061583.0 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109804099B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 大内康裕;畠英雄;中根靖夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B05B7/16;C23C24/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴克鹏 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式，是对于包含具有缺损部(24)的铜制的基底(22)的背板(20)进行修补的方法，其中，包括如下工序：对于所述缺损部(24)的表面进行研磨的工序；在所述研磨工序后，将修补用粒子喷射到所述缺损部(24)并使之堆积的工序，所述修补用粒子中含有铜粒子和陶瓷粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 背板 修补 方法 完毕 | ||
【主权项】：
1.一种背板的修补的方法，其是对于包含具有缺损部的铜制的基底的背板进行修补的方法，所述修补方法包括如下工序：对于所述缺损部的表面进行研磨的研磨工序；和在所述研磨工序后，将修补用粒子喷射到所述缺损部并使之堆积的工序，所述修补用粒子含有铜粒子和陶瓷粒子。
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