[实用新型]石墨舟装片机构

摘要

本实用新型公开了一种石墨舟装片机构，包括四个硅片运载轨道、硅片缓存机构、六轴机械手、吸盘组件，所述硅片运载轨道的数量为四个，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置。当需要运载外侧硅片运载轨道上的硅片时，丝杠将硅片缓存机构上的收料盒推出，缩短收料盒和六轴机械手的距离，当取片完成，收料盒归位，不阻碍机械手的运动。从而提高整体的工作效率，减少设备占地体积，且本实用新型可以实现硅片装载进入石墨舟的自动化运动，减少人工。

主权项

1.一种石墨舟装片机构，其特征在于：包括四个硅片运载轨道，每个硅片运载轨道的一端设置有硅片缓存机构，且伸入该硅片缓存机构中将硅片运载至硅片缓存机构中，硅片运载轨道的端部外侧还设置与之垂直的石墨舟轨道以及石墨舟，在石墨舟轨道的外侧还设置有一个六轴机械手，六轴机械手的端部设有吸盘组件，所述硅片运载轨道互相平行且端部对齐，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，其到内侧的两个硅片运载轨道的距离也相同，硅片缓存机构内设置有个多个硅片槽用于放置硅片，所述吸盘组件上设置与若干个吸盘，吸盘的间距与硅片缓存机构内的硅片槽的间距相同，且吸盘可伸入硅片槽中用于吸附硅片，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方向前后移动设置。