[实用新型]一种改善热盘温度均匀性的涂胶显影机有效
| 申请号： | 201721671510.7 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN207502911U | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 张旋;张伟 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体微影制程领域，尤其涉及一种改善热盘温度均匀性的涂胶显影机。本实用新型包括腔体，腔体内包括：热处理模块，包括一热盘，热盘一侧设置一传送口，传送口位于所述腔体的侧壁上；腔体顶盖，腔体顶盖上设置一通气孔；阻隔板，半覆盖于通气孔。本实用新型提供一种改善热盘温度均匀性的涂胶显影机，通过对涂胶显影机顶盖的结构进行改进增加一阻隔板，有效的改善了热盘及晶元表面的温度均匀性，提高了曝光后的线条宽度的均匀性。并且本实用新型的改进方法简易，成本低廉。 1 | ||
| 搜索关键词： | 热盘 本实用新型 涂胶显影机 温度均匀性 腔体顶盖 传送口 通气孔 阻隔板 腔体 半导体微影 热处理模块 晶元表面 顶盖 均匀性 侧壁 制程 改进 线条 简易 体内 曝光 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种改善热盘温度均匀性的涂胶显影机，其特征在于：所述涂胶显影机包括：
腔体，所述腔体内包括：
热处理模块，包括一热盘，所述热盘一侧设置一传送口，且所述传送口位于所述腔体的侧壁上；
腔体顶盖，所述腔体顶盖上设置一通气孔；
阻隔板，覆盖于所述通气孔的一部分。
2.根据权利要求1所述的改善热盘温度均匀性的涂胶显影机，其特征在于：所述阻隔板设置在靠近所述传送口一侧。3.根据权利要求1所述的改善热盘温度均匀性的涂胶显影机，其特征在于：所述涂胶显影机的所述腔体外侧设置一机器人臂。4.根据权利要求3所述的改善热盘温度均匀性的涂胶显影机，其特征在于：所述机器人臂靠近所述传送口设置。5.根据权利要求1所述的改善热盘温度均匀性的涂胶显影机，其特征在于：所述传送口处设置一活动门。6.根据权利要求1所述的改善热盘温度均匀性的涂胶显影机，其特征在于：所述阻隔板与所述顶盖连接为一整体。7.根据权利要求1所述的改善热盘温度均匀性的涂胶显影机，其特征在于：所述阻隔板与所述顶盖材质相同。
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