[实用新型]单晶炉石英坩埚的升降装置有效
| 申请号： | 201721408207.8 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN207347692U | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 陈五奎;刘强;耿荣军 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 614000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够对单晶炉内石英坩埚在竖直方向上的高度可以调节的单晶炉石英坩埚的升降装置。该单晶炉石英坩埚的升降装置，包括坩埚托盘；所述坩埚托盘下方设置有拖杆；所述拖杆穿过单晶炉的底部；所述单晶炉下方设置有坩埚旋转系统；所述拖杆与坩埚旋转系统传动连接；所述单晶炉内腔底部设置有环形凸台；所述环形凸台的内圈内设置有与环形凸台螺纹配合的旋转套；所述旋转套与坩埚托盘通过离合器连接；所述拖杆上设置有离合器的控制装置。采用该单晶炉石英坩埚的升降装置，便于单晶炉内单晶硅的取出，便于对设备的安装调试。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 石英 坩埚 升降 装置 | ||
【主权项】：
1.单晶炉石英坩埚的升降装置，设置在单晶炉(1)内，所述单晶炉(1)内腔的内壁上设置有保温罩(2)；所述单晶炉(1)的内腔内设置有石英坩埚(3)；其特征在于：石英坩埚的升降装置包括坩埚托盘(4)；所述坩埚托盘(4)下方设置有拖杆(5)；所述拖杆(5)穿过单晶炉(1)的底部；所述单晶炉(1)下方设置有坩埚旋转系统(15)；所述拖杆(5)与坩埚旋转系统(15)传动连接；所述单晶炉(1)内腔底部设置有环形凸台(7)；所述环形凸台(7)的内圈内设置有与环形凸台(7)螺纹配合的旋转套(6)；所述旋转套(6)与坩埚托盘(4)通过离合器(10)连接；所述拖杆(5)穿过旋转套(6)；所述拖杆(5)设置有中心孔；所述中心孔内设置有拉杆(11)，所述拉杆(11)的一端与中心孔的底部之间设置有第一弹簧(14)，且拉杆(11)的一端设置有延伸出拖杆(5)，可以沿拖杆(5)轴线上下滑动的滑杆(16)；所述拉杆(11)的另一端设置有延伸出拖杆(5)，且可以沿拖杆(5)轴线上下滑动的压杆(12)；所述压杆(12)上设置有与离合器(10)接触的顶杆。
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