[实用新型]双冷指气缸结构的杜瓦组件有效
| 申请号： | 201721110200.8 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN207380079U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 洪晓麦;傅霖来;黄立;周文洪 | 申请（专利权）人： | 武汉高芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张强 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双冷指气缸结构的杜瓦组件，包括杜瓦主体，所述杜瓦主体包括过渡件和对称设置在所述过渡件两侧的第一冷指部件和第二冷指部件，所述过渡件包括工装和连接在工装两侧的传热部件，其中，至少一侧的传热部件具有弹性；每个冷指部件均包括冷指气缸和设置于冷指气缸内侧的冷盘，第一冷指部件和第二冷指部件的冷盘分别连接于所述工装两侧的传热部件的外侧。本实用新型的目的在于解决现有技术中杜瓦结构中的芯片进行性能测试时环境的冷量受限制的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 双冷指 气缸 结构 组件 | ||
【主权项】：
1.一种双冷指气缸结构的杜瓦组件，包括杜瓦主体(1)，其特征在于，所述杜瓦主体(1)包括过渡件和对称设置在所述过渡件两侧的第一冷指部件和第二冷指部件，所述过渡件包括工装(6)和连接在工装(6)两侧的传热部件，其中，至少一侧的传热部件具有弹性；每个冷指部件均包括冷指气缸(17)和设置于冷指气缸(17)内侧的冷盘(16)，第一冷指部件和第二冷指部件的冷盘(16)分别连接于所述工装(6)两侧的传热部件的外侧。
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